Zr含量对磁控溅射NiCrZr薄膜结构及耐蚀性的影响_参考网

Zr含量对磁控溅射NiCrZr薄膜结构及耐蚀性的影响

2019-02-26孙康崔洪芝田硕硕宋晓杰王维国

表面技术 2019年2期

关键词：磁控溅射耐蚀性薄膜

孙康，崔洪芝，田硕硕，宋晓杰，王维国

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