微电子工厂涉及的呼吸防护用品的标准

朱震宇　杨一　王振　何基康

摘 要：从事芯片生产的微电子工厂，常使用多种危险化学品，并有使用以上危险物质的工艺操作，涉及到呼吸防护用品的合适选择和正确使用。另外，存在对呼吸防护用品的配置和管理的相应标准和法律法规制度。在微电子工厂安全管理中必须合法、正确、有效地选型和使用呼吸防护用品。本文从4个方面归纳相关标准中重要条款，供呼吸防护用品选型和使用时比较参考。

关键词：呼吸防护用品，标准，微电子工厂

DOI编码：10.3969/j.issn.1002-5944.2023.16.013

0 引言

从事芯片生产的微电子工厂，会使用较多种类的危险化学品，包括有毒有害特种气体和窒息性气体，也有使用以上危险物质的工艺操作，会涉及到呼吸防护用品的适用选择和正确使用。另外，涉及建设项目的安全评价和职业卫生评价，环境安全和职业健康体系审核，安全生产标准化评审，政府应急管理部门针对危险化学品仓库的消防和安全检查，都会对呼吸防护用品的配置和管理有相应标准和法律法规制度要求。本文研究了40多份涉及到呼吸防护用品配置、使用、生产技术相关的国内现行有效的标准，对其中重要条款进行归纳对比，供在微电子工厂生产安全管理工作中合法、正确、有效地选型及使用呼吸防护用品提供参考。

1 呼吸防护用品分类和涉及标准说明

呼吸防护用品按防护原理分类，分过滤式和隔绝式2类。按供气原理和供气方式分类，分为自吸式、自给式、动力送风式3类。按防护部位及气源与呼吸器官的连接方式分类，分为口罩式、口具式、面具式3类。按人员吸气环境分类，分为正压式、负压式2类。按气源携带方式分类，分为携气式和长管式2类。按呼出气体是否排放到外界分类，分为闭路式、开路式2类。

涉及微电子工厂呼吸防护用品有关标准，大致分为3类，第1类是关于微电子厂有毒有害工艺操作、有毒有害物质库房储存、微电子厂使用到的有毒有害物质技术标准，这些标准中有一些个体防护配备要求的说明条款。第2类是有关综合性应急救援物资配备、个体防护装备配置规范标准[1]，第3类是具体各类呼吸防护用品的标准[2- 4]。以上标准包括国家标准和行业标准。

不仅呼吸防护用品分类有很多种，有关生产作业现场应急物资配备选用和个人防护装备配备的标准也有多种，而且国内外呼吸防护用品生产商在技术资料中给出的规格等级划分也各有差异，有必要对相关标准进行梳理归纳，以利于在微电子工厂的生产安全管理工作中合法、正确、有效地选型及使用呼吸防护用品，保障员工的安全健康和应急救援需求，并满足相关管理体系和各方面的管理规定。另外，对员工进行安全和职业卫生教育培训时，也可以引用相关标准条款，作为培训课件内容。

2 相关标准中重要条款归纳比较

本文作者多年从事职业健康安全体系和环境管理体系（EHS体系）工作，参与过多项微电子厂房建设，参与过多项新建及改扩建建设项目的环评、安评和卫评，在历年工作中积累较多涉及到呼吸防护用品的国家标准和行业标准，现从以下4个方面归纳相关标准中重要条款，供呼吸防护用品选型和使用时比较参考。

第一方面，涉及库房储存，有毒有害工艺操作，有毒有害物质，高毒作业岗位职业病危害等标准，归纳了标准中要求的呼吸防护用品配置要求条款。如表1所示。

第二方面，涉及应急物资配置，个体防护装备配置，消防物资配置有关标准，归纳了标准中要求的呼吸防护用品配置要求条款，重点是相关要求的汇总表格。如表2所示。

第三方面，涉及具体种类的呼吸防护用品国家标准，归纳了一些需要重点关注的技术说明条款，主要涉及气瓶贮气量，供气时间，过滤件的标色及防护时间，标记组成说明。如表3所示。

第四方面，归纳了呼吸防护用品的储存、检查、使用、报废等管理要求有关标准条款。如表4所示。

3 其它注意事项

微电子企业产品、技术、设备有差异，使用的有毒有害化学品和原材料有差异，厂房和动力保障设施有差异，员工数量和受教育程度有差异，应根据实际需要，并仔细阅读理解厂家的技术资料，考虑具体作业环境的毒害等级，留有安全余量，合理选择呼吸防护用品和应急救援所需要个体防护装备，使用前应仔细阅读使用说明书，按规范操作。

另外有一些注意事項。

（1）自吸式过滤元件（过滤盒）一定要与防护气体类型相匹配。注意过滤元件是有使用寿命的，优先选择有寿命（失效）指示器的过滤元件。过滤元件的更换计划应由专业人员来制定实施。

（2）使用自吸式过滤器具时，不要在包含未知种类或浓度不明的毒气及蒸气的空气中使用。不要在立即对人的生命和健康产生危险的空气中使用。

（3）正压式呼吸器，平时就要试用，保证使用人员的脸型与面罩匹配。当面部胡须毛发或其它情形影响面部与呼吸器密封垫之间密合时，不得使用过滤式呼吸器具。每次使用时都要进行气密性检查。如果使用可重复填充气瓶，配在呼吸器具上的气瓶要保持在充满可用状态。

（4）应经常训练，保证使用人能够熟练使用相关器具。

（5）呼吸防护用品的配置数量，可以对照相应标准的要求配置。

（6）不同类型的呼吸防护用品，价格差异很大，使用有效期不同，可根据需要合理选择。

（7）有些防护服是正压通风气衣，配全长管供应洁净呼吸空气，也可起到呼吸防护器具的功能。

（8）针对有毒有害气体气瓶意外泄漏，可以配置应急救援容器，用于危险气体泄漏钢瓶的紧急处理，泄漏钢瓶可以安全放置于应急救援容器内（一般适用于充装压力不超过163 MPa、容积不超过50L的毒性、腐蚀性类等气体钢瓶），便于转移至安全区域或原厂，待妥善后续处理。这种处置方式可以防止事故发生场所有毒有害气体浓度继续上升，防止事故扩大。

参考文献

[1]张希文，刘琳，吕欢，等.解读GB39800.2-2020《个体防护装备配备规范 第2部分：石油、化工、天然气》标准[J]. 中国个体防护装备，2021（5）：34-37.

[2]中国标准出版社.个体防护装备标准汇编（上）（第3版）[M].北京：中国标准出版社，2021.

[3]中国标准出版社.个体防护装备标准汇编（中）（第3版）[M].北京：中国标准出版社，2021.

[4]中国标准出版社.个体防护装备标准汇编（下）（第3版）[M].北京：中国标准出版社，2021.

作者简介

朱震宇，通信作者，硕士，高级工程师，注册安全工程师，研究方向为微电子厂房建设、设备仪表安全管理。

杨一，硕士，注册安全工程师，研究方向为职业健康安全管理体系和环境管理体系。

王振，硕士，注册安全工程师，安评师，研究方向为安全评价。

何基康，本科，研究方向为微电子厂房消防管理和应急救援。

（责任编辑：张佩玉）