硅片上集成高介电调谐率的柱状纳米晶BaTiO3铁电薄膜_参考网

硅片上集成高介电调谐率的柱状纳米晶BaTiO3铁电薄膜

2022-08-25赵玉垚欧阳俊

无机材料学报 2022年6期

关键词：柱状硅片薄膜

赵玉垚, 欧阳俊,2

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