硅片生产用辅助腐蚀机构

常琳 聂磊

扬州虹扬科技发展有限公司 江苏 扬州225115

引言

硅片腐蚀是利用氢氧化钠对多晶硅进行腐蚀，目的是为了去除硅片在多线切割锯切片时产生的表面损伤层，同时利用氢氧化钠对硅腐蚀的各向异性，争取反射率较低的表面织构。

目前在硅片腐蚀工艺中，首先将圆形硅片放入到专用载具中，其次将专用载具放入到恒温腐蚀池中腐蚀一定时间，并在机械臂的抖动下加速腐蚀，使硅片在没有保护的地方腐蚀成沟槽，形成芯片的初步形状；但是现有的机械臂结构复杂，而且不利于形成旋转腐蚀，腐蚀效果差。

授权公告号为CN207398077U的专利公开了一种用于挖沟槽的硅片旋转装置，该装置只能实现在刻蚀槽内刻蚀，无法实现提升后旋转或者旋转后提升。

1 装置设计

硅片生产用辅助腐蚀机构，包括装有腐蚀槽的底座和安装架，所述安装架设置在底座上，且安装架上安装有第一转轴，所述安装架位于所述腐蚀槽外侧，所述第一转轴的端部安装有驱动电机，且第一转轴下方安装有辅助机构，所述辅助机构位于所述腐蚀槽内部。在上述技术方案的基础上，本文还做了如下改进：

（1）所述辅助机构包括旋转架和支撑板，所述支撑板间隔安装在第一转轴下方，且支撑板之间安装有旋转架，采用本步的有益效果是通过支撑板能够保证第一转轴转动时，旋转架能够随之转动。

（2）它还包括传动机构，所述传动机构安装在第一转轴内部，且传动机构能够带动旋转架转动，采用本步的有益效果是通过传动机构能够带动旋转架运动，以此实现硅片能够在腐蚀槽中转动，提高腐蚀的均匀性。

（3）传动机构包括第二转轴、主动轮、从动轮和第二驱动电机，所述第二驱动电机安装第一转轴内部，且第二驱动电机的输出端安装有主动轮，所述旋转架内部穿设有第二转轴，所述第二转轴的末端安装有从动轮，所述主动轮与从动轮之间通过链条连接，采用本步的有益效果是通过第二驱动电机带动第二转轴转动。

（4）链条外侧套装有保护套。

2 图示说明

为了更清楚地说明本文的技术方案，下面将对具体实施方式中所需要使用的附图作简单地介绍。图1为本文所述的一种硅片生产用辅助腐蚀机构的结构示意图；图2为本文所述的一种硅片生产用辅助腐蚀机构的第二转轴的结构示意图；

3 具体实施

下面将结合附图对本文技术方案进行详细的描述。

如图1-2所示，本文所述的一种硅片生产用辅助腐蚀机构，包括装有腐蚀槽1的底座2和安装架3，所述安装架3设置在底座2上，且安装架3上安装有第一转轴4，所述安装架3位于所述腐蚀槽1外侧，所述第一转轴4的端部安装有第一驱动电机5，且第一转轴4下方安装有辅助机构6，所述辅助机构6位于所述腐蚀槽1内部；本实施例中的第一转轴4是穿过安装架3，在第一驱动电机5的带动下，能够实现转动，具体与安装架3的安装方式属于现有技术，此处不再赘述；第一驱动电机5设置在安装架3外侧，且输出端与第一转轴4的一端连接，这样第一驱动电机5转动时，能够实现第一转轴4的转动，以此，也能带动辅助机构6运动，脱离腐蚀槽。

如图1所示，所述辅助机构6包括旋转架601和支撑板602，所述支撑板602间隔安装在第一转轴4下方，且支撑板602之间安装有旋转架601；本实施例中支撑板602为两块，起到连接支撑的作用，旋转架601是安装在支撑板602之间，这样第一转轴4运动时，旋转架601也能够绕着第一转轴4运动；本实施例中的旋转架601用于放置腐蚀用花篮，其包括放置部和固定部，放置部通过连杆和挡板形成上方开口，内部为凹型的放置空间，开口处放置有固定部，固定部也是由连杆和挡板组成，形成和放置空间相配合的固定部，固定部与放置部通过位于其两端螺栓固定。

如图1所示，它还包括传动机构7，所述传动机构7安装在第一转轴4内部，且传动机构7能够带动旋转架601转动；在腐蚀时，需要保证硅片能够旋转，这样才能够实现均匀腐蚀，所以需要额外的结构带动旋转架601运动。

如图1所示，所述传动机构7、辅助机构6均为PVC材质，所述链条705外侧套装有保护套706。

本实施例的运动过程：先加装有花篮的硅片放置在旋转架601中，固定好后，启动第一驱动电机704，带动第一转轴4转动，使得旋转架601能够落入腐蚀槽1中；启动第二驱动电机704，带动主动轮702转动，以此实现从动轮703转动，从而带动第二转轴701转动，旋转架601能够完成转动，在腐蚀完毕后，启动第一驱动电机704，带动第一转轴4转动，使得旋转架601脱离腐腐蚀槽。

4 结束语

本文阐述的一种硅片生产用辅助腐蚀机构，通过第一转轴能够实现旋转架进入或者脱离腐蚀槽，代替人工操作。通过传动机构能够带动旋转架转动，从而提高硅片的腐蚀效果。结构简单，成本低，且实用性高。