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图像传感器及其形成方法

2019-02-17

传感器世界 2019年8期
关键词:光吸收衬底透光率

申请号: 201811178557.9

【公开号】CN109300927A

【公开日】2019.02.01

【分类号】H01L27/146

【申请日】2018.10.10

【申请人】德淮半导体有限公司

【发明人】周艮梅;金子貴昭;黄晓橹

【摘 要】一种图像传感器及其形成方法。图像传感器包括:半导体衬底;多个像素器件,位于半导体衬底内;多个具有不同滤光颜色的滤光器,设置于半导体衬底的表面;其中,每个滤光器与位于其下的像素器件之间设置有光吸收薄膜,且具有不同滤光颜色的滤光器下方的光吸收薄膜具有不同的透光率,滤光颜色的光线波长越长,光吸收薄膜的透光率越低。本发明方案有助于产生足够的光电子,提高图像传感器的灵敏度。

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