镶嵌纳米晶硅的氧化硅薄膜微观结构调整及其光吸收特性_参考网

镶嵌纳米晶硅的氧化硅薄膜微观结构调整及其光吸收特性

2016-02-27梅艳,贾曦,安彩虹等

材料科学与工程学报 2016年5期

关键词：晶硅氧化硅光吸收

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