一种轧制加工钨钛合金靶材的制备方法

专利申请号:2016108445159

公布号:CN106319463A

申请日:2016.09.22 公开日:2017.01.11

申请人:安泰天龙钨钼科技有限公司

本发明属于有色金属靶材制备技术领域,具体涉及一种轧制加工钨钛合金靶材的制备方法.该方法以W粉与TiH2粉末为原料,依次经混合、压坯、预烧、烧结、包套、轧制和热处理步骤,最终得到所述钨钛合金靶材.本发明采用将W粉与TiH2粉末混合后压制成型,压坯经过预烧还原和高温真空烧结,坯料带包套进行轧制的工艺;压坯经过预烧还原,可有效降低坯料中的杂质含量和氧含量,再经高温真空烧结,可得到高纯度钨钛合金坯料;坯料带包套后可以在大气气氛加热炉内进行加热,避免坯料中Ti元素的加热氧化现象,保证轧制加工的顺利进行;最终得到的靶材致密度可达99.6%以上,厚度尺寸可控,工艺简单且适合大批量工业化生产.