如何提高用精密光学计或接触式干涉仪检定块规精度的探索

2016-04-13晋中市质量技术监督检验测试所张卓

大众标准化 2016年7期

关键词：滤光片干涉仪工作台

●　晋中市质量技术监督检验测试所　张卓

●晋中市质量技术监督检验测试所张卓

精密光学计和接触式干涉仪都属于高精度比较式端度仪器。工作台部分结构基本相同，操作方法也相似。接触式干涉仪常用于检定二、三等块规，精密光学计常用于检定三、四等块规。

精密光学计接触式干涉仪

块规的准备

清洗好被测块规和标准块规，并检查块规测量面的表面质量是否合格。将它们按尺寸排列放在仪器附近进行长时间等温。

测帽和主工作台的选择

一般选用球面测帽和五筋平台。球形测帽表面应光洁无毛刺，以免划伤块规。五筋平台的中筋应略高于其余四筋0.6μm～0.4μm，检查时，观察仪器示值变化0.8μm～1.2μm即可。

有的薄块规弯曲度可能大于1μm，这样五筋平台块规凸面向上时，块规中心点与五筋的中筋不接触，则测出的中心长度将偏大。有经验的检定员可以从测帽敲击块规的声音判断这一情况。此时，只要将块规翻转，使其凹面向上。对于初学者测量薄块规最好换上玛瑙工作台。由于玛瑙头高出筋面2μm～3μm，故对于弯曲较大的块规也能测量。

工作台的安装

调整工作台4只径向螺丝，使中筋与测帽中心对齐。辅助工作台应低于主工作台10μm～50μm，用刀口尺检查，超差时应修磨垫圈厚度。

接触式干涉仪的调整

正常的仪器，自由状态时零级干涉带应位于视场中-50以外处，由于运输和使用不当，经常发生自由状态没有干涉条纹，此时对仪器应做适当调整。

（1）检查光源部分：照明光束光斑应略大于干涉计管入射窗口，并与之同心。光束为平行光，否则，要调节灯及聚光镜位置。

（2）放上滤光片，若看到条纹，则进行步骤4。

（3）若仍不见条纹，则移去目镜和滤光片，透过分划板可见灯丝象。调节参考镜螺丝，使两灯丝重合；重新移回目镜和滤光片，若仍不见条纹，则可能是初始状态被破坏或观察显微镜物镜离焦。取下测帽和提升器，调节位于镜管下部的初始状态螺丝，或前后推拉螺钉，调节物镜焦距。有时将物镜拉动一点儿，就需要相应地移动一点儿初始状态螺钉，反复多次即可出现条纹。

（4）出现条纹后，应将对比度最好的条纹调到视场中央，移去滤光片，即可出现彩色条纹。

接触式干涉仪示值的调整

调节参考镜螺丝，使45.6格分划间隔内包括16个条纹间隔；条纹应与分划平行，移去滤光片后，零级条纹应位于视场-53处。

测量

把块规放入移动框内，先测量标准块规。升降工作台或立臂，使测帽与标准块规工作面接触，工作台或立臂锁紧后，接触式干涉仪零级条纹或精密光学计影屏指标先应对准标尺零位。多次提升测帽和抖动移动框，示值不再变时，读取读数O；然后移入被检块规，重复上述提升和抖动的操作，并读数Q。各受检点应该读数两次，其顺序为：O1、Q1、Q2、O2，然后a1、b1、c1、c2、d2、a2、d1、b2。