晶圆测试生产线晶片操作的方法

马晓营

摘 要：本文主要研究在晶圆测试生产线上是正确地操作晶片和正确地使用晶片操作设备的方法。

关键词：晶圆；测试生产线；晶片操作

半导体行业对于晶片制造过程中，晶片的接触、输送等操作都有着非常严格的要求，对所有接触晶片的人员、装置和设备，做了明确而详细的规定和指导，以确保晶片在制造过程中的清洁和安全。

1. 晶片操作设备

操作人员在任何时候操作晶片时，都必须遵守洁净室规范，并且按规定正确使用晶片操作设备。无论是一片或是多片晶片，必须使用片匣存储或传送，而装有晶片的片匣必须存储在物料盒里，并使用物料盒进行传送。通常需要使用晶片传送装置将一片匣晶片传送到另一个片匣中。

手动传送晶片，需使用真空吸笔。严禁用手直接接触晶片，即使佩带了手套。每次使用真空吸笔前，必须确认其是清洁的。使用真空吸笔从片匣里拿取晶片时，要将吸笔顶端的刻槽部分放置在晶片背面的指定区域。在试图将晶片拿离片匣之前，要停留几秒钟，以确保吸笔已经完全真空密封。从片匣的背面（H-杠）将晶片垂直提出，并垂直放入另一个片匣的前部。在晶片被放到最终位置之后，按下吸笔上的ROUND（圆形）键，使晶片从吸笔顶端脱离，从而完成了一片晶片的传送。

2. 拿取片匣和物料盒的方法

操作人员每次只允许拿取一个片匣或物料盒。拿取片匣或物料盒时，应将片匣或物料盒置于腰部高度，正面对人。如果搬运的晶片是用墨点标记过的（Inked），应将片匣或物料盒须略微倾斜一定角度，以保证边缘的墨点不被摩擦到 。

2.1 拿取6寸或8寸片匣时，一只手抓住盒手柄，另一只手在侧面扶稳片匣，或者将双手放在片匣两侧。如下图所示。

将片匣放入测试机时，一只手抓住盒手柄，另一只手在侧面扶稳片匣。如下图所示。

2.2 拿取12寸片匣时，用双手抓住两侧手柄拿取12寸晶片片匣或将手放在片匣两侧，如下图所示。

将片匣放入测试机时，需用双手抓住两侧手柄拿取12寸承载环片匣。如下图所示。

3. 片匣和物料盒的传送

从一个工作区将晶片传送到另一个工作区时，需将晶片放在关闭的物料盒中。不同平台之间的晶片传送必须用手推车，无论是一批或多批。操作员每次至多在手中搬运或挪放一个物料盒。在搬运或挪放物料盒的同时，禁止物料盒上或手中有其他物品。物料盒或片匣不能上下罗着堆放在手推车上。用手推车运送装有晶片的12寸物料盒或片匣时，每层不能超过一个，运送8寸物料盒或片匣时，每层不能超过四个。晶片传送中，要确保物料盒安全锁好。无论何时，都要用双手搬移物料盒。

4. 物料盒的存放

物料盒要存放在生产线的指定物料架上。装有晶片的物料盒不能上下罗着堆放在一起，也不能用手中的物料盒去推挪其他的物料盒。物料盒的摆放要整齐有序。摆放时，物料盒不能探出货架，以防止物料意外坠落。禁止依靠存放有物料盒的物料架。如需移动物料架，必须先将物料架上的所有物料盒移走。此外，在物料架上打开物料盒也是被禁止的。

正确地操作晶片和正确地使用晶片操作设备，是晶片制造过程中确保产品质量的基本保障，也是减少晶片的人为损伤的重要因素之一。本文对于目前晶圆测试生产线上的操作晶片和晶片操作设备使用的方法做了简单的介绍。更加先进和精细的晶片操作设备的不断出现，将为晶片制造提供更加清洁与安全的制造环境。

参考文献

1） Lorene，半导体产业视角 产业发展、设备投资、环境保护、政策环境——访比欧西贸易（上海）有限公司总经理 罗伟德[J]；半导体技术；2004年06期

2） 中国科学院半导体研究所理化分析中心研究室. 半导体的检测与分析[M]. 北京： 科学出版社，1984.269.

3） 王恒，吴媛媛. 集成电路在线功能测试技术研究[J]. 舰船电子工程. 2007（03）