JEM-2000EX电子显微镜真空故障排除

2015-01-26鲁国华李科许红

中国医疗设备 2015年11期

关键词：氟利昂镜筒电子显微镜

鲁国华，李科，许红

大连市第三人民医院放射科，辽宁大连 116033

JEM-2000EX电子显微镜真空故障排除

鲁国华，李科，许红

大连市第三人民医院放射科，辽宁大连 116033

本文介绍了JEM-2000EX电子显微镜真空故障分析及处理方法。

电子显微镜；油扩散泵；真空度；灯丝室；医疗设备维修

0 前言

电子显微镜集成度高，结构复杂，计算机控制，它在医疗和科研中发挥了重要作用，在使用JEM-2000EX电子显微镜过程中会产生真空不良的问题，下面将实际遇到的故障维修过程进行分析。

1 故障现象

晚间抽真空情况下，早晨开机，2 min后，在显示器上显示的阀门图标有V12、V13亮灯，其他的阀门为灭灯，机器抽真空20 min以后，阀门V5、V7、V10、V12灯亮，其他阀门灯灭，30 min后，系统的真空度还是很低，机器不能进入到正常工作状态。

2 故障分析及处理

查看显示器上显示的皮拉尼真空规测量的真空电流值分别为PI1=216 μA，PI2=214 μA，PI3=187 μA，PI4= 169 μA，说明机器处于低真空状态；机器正常工作时的皮拉尼真空规测量的真空电流值分别为PI1=29 μA，PI2= I25 μA，PI3=35 μA，PI4=124 μA，PI1数值表示镜筒室真空度的高低，PI2数值表示灯丝室真空度的高低，PI3数值表示观察室及相机室真空度的高低，PI4数值表示一级油扩散泵前级管路真空度的高低；显示器上显示的阀门图标V1、V2、V3、V4、V5、V6A、V6B、V7、V10、V12、V13都有相对应的元器件实物，V23没有在显示器上显示阀门图标只有实物；V1、V23是手动阀门，需要人为手动方式开启或者关闭；V2、V3、V4、V5、V6B、V10是气动阀，需要机器发出指令来控制改变气流方向，达到阀门开启或者关闭；V6A、V7、V12、13是电磁阀，需要机器发出指令来通电或者断电，达到阀门开启或者关闭；显示器上显示灯亮的阀门图标表示阀门是打开的状态，灯灭的阀门图标表示阀门是关闭的状态。

机械泵是油扩散泵的前级真空泵，在油扩散泵工作时，如果它内部的油蒸气中含有大量空气，油蒸汽极易燃烧，所以机械泵抽真空使灯丝室和镜筒室真空度升高到一定程度以后，机器才能进行下一个抽真空动作，即打开阀门V4，关闭V10、V7；此时的故障，V4、V6A、V6B、V13阀门灯灭，阀门V12灯亮，说明PI4=169 μA数值是正常值；与观察室及相机室有关的阀门V3、V6A、V6B、V9都是关闭的，说明PI3=187 μA数值是正常值；机械泵经过V10、V7、V5，同时对灯丝室和镜筒室抽真空，PI2=214 μA，PI1=216 μA，两个室的真空度很低，说明灯丝室橡胶密封圈、管路、灯丝室和镜筒室之一、阀门可能有漏气；更换灯丝室涂有真空脂的橡胶密封圈，观察PI1、PI2的数值没有改变，真空没有好转；V2的气体接头是快速接头，对调两个快速接头，人为改变气体流动方向，使V2打开，在显示器上显示的V2阀门图标没有改变状态，是因为电路中的信号没有改变，观察PI1、PI2的数值没有改变，V2没有问题，恢复V2气体接头到原始状态；对调V5的气体接头，关闭V5，观察V5阀体后面孔内的圆柱运动，圆柱运动说明V5没有故障，同时观察PI1、PI2的数值没有改变，说明镜筒室及其相关部分没有泄漏真空，灯丝室及其相关部分有漏真空，只有这样PI1、PI2的数值才不会改变，他们同时漏真空的可能性比较小，关机，迅速观察PI1、PI2、PI3、PI4数值，只有PI2快速上升到255 μA，PI1、PI2和PI3数值改变很慢，说明灯丝室和与其相连部分有漏真空，恢复V5气体接头到原始状态；与灯丝室相连的电子枪气体室充有氟利昂，电子枪气体室中有高压电路元件，他们打火能够损坏灯丝室和电子枪气体室之间的夹层，氟利昂如果进入到灯丝室，PI2的数值也很高，V23有三个位置，放气、关闭、抽真空，通过V23置于放气位置，把氟利昂放掉，再把V23置于抽真空位置，开机抽真空，经过半个小时甚至更长时间以后，故障仍然没有好转，说明电子枪气体室与灯丝室之间没有泄漏，将V23置于关闭位置；与灯丝室相连的器件只剩下抽气管道波纹管，关机，卸下波纹管，用橡皮塞堵住机器的两个端口，开机，对调V2的气体接头，使V2打开，机械泵通过V2、V5、V7、V10对灯丝室和镜筒室抽真空，观察PI1、PI2的数值分别下降到170 μA和168 μA，油扩散泵可以对灯丝室和镜筒室抽真空，说明波纹管漏真空，经检查发现波纹管上有一小部分轻微压平状变形，在变形处有裂纹。关机，恢复V2气体接头到原始状态，打开氟利昂气瓶阀门，给电子枪气体室注入氟利昂，压力表针向右指示到2表示氟利昂已经充满，关闭氟利昂气瓶阀门，更换新的波纹管，开机，抽真空，各个PI数值恢复正常，机器正常工作，故障排除。