一种无线无源声表面波压力传感器及其制备方法

申请号: 202111488949.7

【申请日】2021.12.07

【公开号】CN114136507A

【公开日】2022.03.04

【分类号】G01L1/16; G01L9/08

【申请人】中国电子科技集团公司第四十八研究所

【发明人】车颜贤;曾庆平;宋轶佶;何峰

【摘 要】本发明公开了一种无线无源声表面波压力传感器及其制备方法，包括衬底，所述衬底的中部位置设置有压力空腔；所述衬底的上表面设有压电薄膜，所述压电薄膜的上表面设置有第一声表面波器件，所述压电薄膜的下表面设置有第二声表面波器件，所述第一声表面波器件和第二声表面波器件均为压力感应器件且正对于所述压力空腔，SAW传播方向沿所述压电薄膜长度方向。制备方法为：在压电薄膜基片的两侧制备第一声表面波器件和第二声表面波器件；在硅片上制备压力空腔，形成衬底；将声表面波器件与具有压力空腔的硅片进行键合，得到声表面波压力传感器。本发明具有高灵敏度及高分辨率等优点。