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云南大学材料与能源学院能源材料关键技术研究

2022-09-14云南大学材料与能源学院

云南科技管理 2022年4期
关键词:硅基云南大学布线

云南大学材料与能源学院

以陈秀华教授为骨干的云南大学能源材料技术研发团队,主要从事新能源环境材料、新型太阳能电池材料、半导体超大规模集成电路布线材料的研究。围绕信息产业半导体ULSI硅基布线及互连薄膜材料、光伏产业太阳能硅基材料及器件、纳米多孔硅制备及在重金属环境治理方面的应用开展相关研究工作。

主要研究方向

1 光伏产业:太阳能硅基材料及器件的研究

利用纳米金属辅助刻蚀开展新型硅基太阳电池材料及器件相关研究工作,通过有效调控,制备不同结构的硅基电池,实现硅片表面的高效减反效果和发光效率的提升。

图1 所制备的新型硅基太阳电池的I-V曲线

2 光电子信息领域超大规模集成电路硅基布线及互连薄膜材料

利用PVD、CVD、sputtering等多种薄膜制备技术开展半导体ULSI集成电路铜布线及互连层的研究。

图2 所制备的薄膜的方块电阻-温度曲线

图3 所制备的有机官能团多孔硅吸附Cd的机理图

3 新能源环境领域:材料纳米多孔硅制备及在重金属环境治理方面的应用

利用在纳米多孔硅上嫁接有机官能团实现对工业废水净化和吸附重金属离子的研究。

本研究团队的研发工作获得了国家自然科学基金、教育部留学回国人员基金、云南省科技厅重大科技专项、云南省科技厅重点项目、云南省省部共建复杂有色金属资源清洁利用国家重点实验室开放基金等项目的资助和支 持。课 题 组已在ACS、ASS、SPT、JMST、JHM、Coatings、MP、Waste management、Power Technology、Fuel cell、材料导报等期刊上发表SCI和EI论文多篇,已培养硕士毕业生30余人,毕业研究生在光电子信息领域、光伏太阳能领域知名国企和民企担任高管、技术总监和技术骨干。

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