锁定“钼”标 砥砺前行——“高性能触控显示屏用钼铌合金靶材的技术研究及产品开发”项目简介

溅射靶材是平板显示、新能源及光伏行业不可或缺的重要基材，市场需求量大。为了有效拓展市场，金堆城钼业股份有限公司(以下简称“金钼股份”)成立钼铌合金靶材科研项目团队。经过两年的不懈努力，攻克了大规格钼铌合金靶材制粉、烧结、加工等关键工艺难题，掌握了大尺寸靶材的核心制备技术。

该项目小组在小规格钼铌靶材的基础上展开了大规格钼铌合金平面靶材、管状靶材的开发。项目组成员通过原料的纯化解决了钼铌合金应用面板行业的第1个“卡脖子”问题——高纯；通过特殊热处理解决了作为阻挡层的钼铌合金能否有效发挥耐湿性的第2个关键问题——均质；通过工艺标准化控制解决了钼铌合金能否成功应用于面板行业的问题——大尺寸。

在解决原料的纯化问题时，项目组决定采用高纯CO进行提纯试验。大家连续奋战了一个星期，收获了不同组分的碳化物，通过一步一步追根溯源的探索实验，最终获得了提纯原料的方法。

2021年开始，项目组利用实验室设备，承接了用户管状靶材的订单，并在约定的周期内顺利交付。钼铌靶材认证顺利通过，产品各项指标达到客户最优标准。

目前，金钼股份技术中心制备的钼铌合金管靶已经通过国内知名半导体及面板企业——映日科技股份有限公司的客户认证，正进行连续订单的生产。8.5代线大尺寸钼铌合金条靶也正在和客户接洽。