抗强激光损伤类金刚石(DLC)薄膜制备工艺

西安工业大学研究了利用脉冲电弧离子镀技术制备类金刚石(DLC)薄膜的工艺及方法，并对其抗激光损伤特性进行了分析测试，得出了该制备技术下DLC薄膜抗激光损伤阈值的最佳制备工艺条件和最显著影响因素；研究了非平衡磁控溅射技术制备DLC薄膜的工艺及方法，并对其抗激光损伤特性进行了分析测试，获得了此制备技术下DLC薄膜抗激光损伤阈值的最佳制备工艺条件和最显著影响因素；在分析论证薄膜激光损伤机理的基础上，研究了DLC薄膜抗强激光损伤阈值的测试方法与评价标准，对制备的DLC薄膜的激光损伤阈值大小进行了测试与分析；制备出了既能满足产品光学性能要求，又具有较强抗激光损伤能力的DLC激光薄膜。

利用两种制备方法和项目研究中取得的关键技术，已成功的为国内多家单位(西安应用光学研究所、南京理工大学和西安光机所等)制备了用于红外窗口表面增透保护和满足系列激光产品要求的DLC激光薄膜，经所有用户应用后证明，该研究成果不仅使产品的整个光学系统既具有良好的光学性能，同时又具有一定的抗激光损伤能力。不仅解决了这些单位研究生产中遇到的关键技术问题，而且为这些单位带来了一定的经济效益。