非球面面形检测系统
2021-11-29张立新
西安工业大学学报 2021年6期
由西安工业大学自行设计、研制的非球面面形检测系统是在横向剪切干涉的技术基础上,用压电陶瓷引入相移,通过采集卡和CCD获取系列剪切干涉条纹图像。经过计算机对系列扫描条纹图像的数学处理,实现了对光学非球面的快速、抗干扰、高精度测量。涵盖光学/光电研究院所、光学/光电子元器件生产企业等应用领域。开发具有独立知识产权的非球面面形检测系统,不仅可以解决光学领域的非球面测量难题,而且能够节约大量的外汇资源。目前样机已经开发,作为精密光学测量系统,生产规模不大,但对社会的贡献明显。