硅片甩干干燥装置
2020-12-11李欢王敏
李欢 王敏
(扬州虹扬科技发展有限公司 江苏 扬州 225155)
引言
硅片旋转冲洗甩干是的一道重要工序,使用于Solar panel和Silicon wafer的生产制造过程中对Wet etching清洗后的硅片进行干燥和洁净处理。曾有一篇专利描述了一种甩干机内部的组合零件,该专利中所提的片盒夹具是多个夹具组装在一起,这样的装置是整体运作的,不利于单独拿取和检查硅片的状态。所提内筒底板圆心位置处开凿一个中心孔槽,每一个片盒夹具外部设置若干个固定孔。
目前市场上出现的硅片放置盒大多都是整体拿取、整体上料,不能单独翻转放置硅片的上料框,给操作带来了诸多不方便。
2 装置设计
此硅片甩干干燥装置,包含干燥桶、回转工作台、变频电机和转动机构,变频电机安装在干燥桶下端,并且变频电机上方安装有回转工作台,回转工作台上安装有旋转装置,旋转装置包含若干个定位架和若干个连接板,定位架顺着回转工作台的四周围方向间隔设置,并且相邻近的定位架之间有连接板相连接。
在以上技术方案的奠基之上,本文还做了以下改善:
(1)所提定位架至少有四个,通过多个定位架能够用于放置装有硅片的上料框,这是其的优势之处。
(2)定位架包含定位槽、放料框和销轴,使用这样的装置其优点是定位架被分成多个部分,放料框就能够翻转,放置上料架和拿取上料架就变得较为简单。所提定位槽固定在所提回转工作台上,并且定位槽的开口向内,所提放料框为内侧开口的长方形箱体,所提放料框位于所提定位槽内部,并且放料框上方与定位槽上方有活动插销连接。
(3)定位槽、放料框的侧边均开设有多个排水孔,使用这样的装置其优点是经过多个排水孔便于水份流出。放料框上方安装有拨动杆,使用这一步的优点是通过拨动杆能够便于转动放料框。
(4)变频机构为变频电机,回转工作台与变频电机上方的输出端相连接。
3 具体实施
下面将对本文所提的技术方案进行全面性讲解。
本文提供的一种硅片甩干干燥装置,包含干燥桶、回转工作台、变频电机和旋转装置,所提变频电机安装在干燥桶下端,且变频电机上方安装有回转工作台,所提回转工作台上安装有旋转装置,所提旋转装置包含若干个支撑架和若干个转换板,所提支撑架顺着回转工作台的四周围方向间隔设置,且相邻近的支撑架之间连接有转换板;本实施例是利用变频电机完成回转工作台的转动,其中旋转装置是安装在回转工作台上,回转工作台转动时,旋转装置能带动跟着转动,使得硅片得到甩干的目的。而旋转装置由两个部分组成,一个是支撑架,另一个是转换板,所提支撑架可以有大于或等于四个(依据器具的大小而定),支撑架是用于放置装有硅片的上料框,那支撑架就靠转换板来连接,这样使得回转工作台转动时,旋转装置不会脱离回转工作台而得到保障。
变频电机为驱动装置,所提变频电机上方的输出端连接有回转工作台;本实施例中变频电机就是驱动源,能够驱动回转工作台从而完成转动。
支撑架包含定位槽、不锈钢储料槽和插销,所提定位槽固定在所提回转工作台上,并且定位槽的开口向内,所提不锈钢储料槽为内侧开口的长方形箱体,所提不锈钢储料槽位于所提定位槽内部,且插销将不锈钢储料槽上方与定位槽上方相连接;本实施例中的支撑架分成多个部分,是定位槽和不锈钢储料槽的组合而成,其中定位槽是焊连在回转工作台上,其上方与不锈钢储料槽上方有插销做连接,这样不锈钢储料槽能够围绕着插销旋转,不锈钢储料槽的内侧面为开口面,当该开口面在不锈钢储料槽翻转向上后,就可以用来放置装有硅片的上料框,旋转不锈钢储料槽,可使不锈钢储料槽的开口面朝向内侧,此时完成整个上料框的放置动作。
定位槽、不锈钢储料槽的侧边均开有多个排水孔;本实施例中定位槽、不锈钢储料槽的各个侧边面上开设的排水孔有利于水份流出,使得水滴不再残留在硅片的表面。
不锈钢储料槽上方安装有切换拨片,本实施例中的切换拨片呈90度直角形状,可拉动不锈钢储料槽进行旋转,便于操作人员的抓取。
4 结束语
本文阐述的是一种硅片甩干干燥装置,这种结构简单,操作便捷,便于维修保养。通过变频电机带动回转工作台旋转,使存在旋转装置内部的硅片甩干,从而使硅片得到干燥处理。旋转装置由多个定位架组成,所有定位架内部的上料框都可以单独旋转,便于放置上料框也就是说可以单独转动某个上料框的硅片,这样使得操作便捷,安装起来也更简单明了。