气体层流流量传感器测量不确定度评定

甄杨 于劲竹

摘 要：气体层流流量传感器层流元件上下游的静压力差来实现气体流量测量的仪表，广泛应用于汽车电子、半导体技术、能源与环保等领域，本文依据JJG 736-2012《气体层流流量传感器》和JJF159.1-2012《测量不确定度评定和表示》对该流量计仪表系数检定的不确定度进行了评定。

关键词：气体层流流量傳感器;仪表系数;不确定度;评定

一、测量原理、方法和依据

当气体流经传感器层流元件时，形成层流运动，在元件上下游产生静压力差。根据流体力学原理，流过元件的平均流速或体积流量与这一差压成正比。气体层流流量传感器的校准依据是中华人民共和国国家计量检定规程JJG736-2012《气体层流流量传感器》。[1]～[2]

二、建立数学模型

六、测量不确定度报告

气体层流流量传感器显示流量307.56L/min，实际流量为304.24±304.24×0.70% L/min=304.24±2.13 L/min。

参考文献：

[1]JJG 736-2012《气体层流流量传感器》.北京：中国质检出版社，2012.

[2]JJF159.1-2012《测量不确定度评定和表示》北京：中国质检出版社，2013.