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上海光机所无锥柱交界面KDP类晶体长籽晶快速生长技术取得重要进展

2019-10-19

人工晶体学报 2019年9期
关键词:籽晶光机所交界面

图1 连续过滤长籽晶快速生长技术制备的KDP晶体(晶体尺寸471 mm×480 mm×400 mm,籽晶长度260 mm)

近期,上海光机所应用于Ⅱ类切割的430 mm口径KDP类晶体的长籽晶快速生长技术取得重要进展。利用自主研发的KDP类晶体连续过滤快速生长系统,在国际上首次结合长籽晶点晶技术(籽晶长度260 mm)获得长籽晶KDP晶体(图1),晶体尺寸为471 mm×480 mm×400 mm(长×宽×柱面高)。

初步测试结果表明,晶体透明度好,可以满足无锥柱交界面的430 mm口径二类混频元件切割要求。该晶体的成功生长,验证了长籽晶快速生长技术制备大口径无锥柱交界面DKDP晶体的可能性,为后续430 mm口径DKDP晶体元件制备奠定基础。

长籽晶生长技术存在一系列优点:(1)充分利用Ⅱ类晶体切割方向特点,提高晶体坯片的切片效率;(2)可以利用长籽晶对应的柱面区域进行元件切割,彻底消除了点籽晶单锥及双锥头快速生长固有的锥柱交界面,解决晶体内部锥柱交界面诱导的局域位相畸变及电场增强效应;(3)进一步改善了晶体生长过程中流场环境,有利于获得高质量晶体;(4)充分利用了快速生长技术特点,430 mm口径晶体的制备周期为3~4个月,显著优于慢速生长2~3年的制备周期。

相关晶体制备技术已经申请了专利(公开号:CN109943881A,CN110055579A)。目前利用该技术正在进行大口径DKDP晶体研制的攻关工作,有望获得突破性进展。

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