基于LTCC技术的SIW元件集成设计与工艺

戴雷 王子良 陈继新

基于LTCC技术设计了一个三腔SIW（介质集成波导）滤波器以及集成该滤波器的RF前端MCM模块。并通过LTCC工艺加工了上述滤波器和MCM模块多层基板，对其进行组装、测试和分析。测试曲线与结果与设计值较吻合，验证了LTCC基板集成SIW元件的可行性，为LTCC无源元件的实现探索了一条新的途径。

SIW；LTCC；MCM；滤波器