科研人员研发出钛基纳米复合涂层新工艺

俄罗斯乌拉尔联邦大学和俄罗斯科学院乌拉尔分院电物理研究所科研人员联合研发出一种钛基四组分纳米复合涂层TiSiCN(钛、硅、碳、氮)新工艺，可作为耐磨性保护涂层用于保护飞机和燃气涡轮发动机等部件，广泛应用于金属加工和生物医学等领域。该复合涂层不需要高温，也无需附加装置和材料。研究结果发表在《Membranes》杂志上。

俄科研人员采用等离子体化学分解法，用具有空心阴极和活性阳极的气体放电装置来制造多组分活性介质，无需单独安装电离和过滤系统。科研人员使用含有参与最终结构形成的SiC(硅、碳)和SiN(硅、氮)键的有机硅前体—挥发性低毒液体，通过等离子体中的电子束蒸发钛，将钛添加到前体气体介质中，在处理过的部件表面形成TiN(钛、氮)、TiC(钛、碳)或 TiCN(钛、碳、氮)晶体组成的纳米晶相涂层。该工艺比磁控溅射具有更高的沉积速率和高离子通量密度，且成本低、无污染。