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基于钽酸锂薄膜衬底的声表面波谐振器

2022-07-04杨清瑞王志超宋学毅王昭勋陈雪娇张师斌

天津大学学报(自然科学与工程技术版) 2022年10期
关键词：衬底薄膜

杨清瑞，王志超，宋学毅，王昭勋，陈雪娇，张师斌

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