一种含氟气体在线分析用预处理系统

申请(专利)号：CN202022348815.2

公开(公告)日：2021-09-14

申请(专权)人：昊华气体有限公司

摘要:本实用新型公开了一种含氟气体在线分析用预处理系统，其特征是包括碱洗罐(1)、水洗罐(4)、真空泵(7)、冷凝器(10)、干燥器(14)和气相色谱仪(16)，前述设备通过管线依次连接，真空泵(7)与冷凝器(10)之间管线通过四通与负压系统和尾气处理系统连接，冷凝器(10)与干燥器(14)之间管线通过四通与负压系统和尾气系统连接。该系统能实现气体置换迅速、分析准确、干燥完全，并易于维护，可有效降低操作人员工作量。