浅议全柔 AMOLED 面板生产线洁净装饰技术的应用

陈士凯（浙江江南工程管理股份有限公司， 浙江 杭州 310013）

0 引 言

近年来，我国新型显示产业发展十分迅猛，其在国民经济中占有重要的战略地位，是先进制造和新一代电子信息领域的核心基础产业。随着高端电子显示产品的使用范围越来越广泛，全柔技术的应用将显示器由平板式发展成为卷曲式、折叠式，并逐渐拓展至更多的应用领域，释放出前所未有的市场潜能。基于全柔技术的显示器在为用户提供多元化视觉感受的同时，也激发了业界极大的想象空间，各厂家纷纷投入大量的物力财力进行产品研发，争相进行全柔显示面板项目的开发建设。业界普遍认为，显示面板产品的优良率主要取决于对洁净车间的环境控制，而建筑车间的内装饰技术对电子厂房洁净车间的环境控制具有重要意义[1]。本文以建造第六代全柔主动矩阵有机发光二极管（Active-Matrix Organic Light-Emitting Diode，AMOLED）面板生产线洁净车间为例，梳理、探讨和研究洁净施工技术的控制方法，供相关人士参考。

1 项目背景

第六代全柔 AMOLED 面板生产线项目占地面积约为45 913.56 m2（68.87 亩），总建筑面积为 58.73 万 m2，主体结构为钢筋混凝土框排架结构，屋盖结构为现浇混凝土结构＋钢梁 DECK 板（一种楼承钢板）混凝土屋面，建筑类别丙类，耐火等级一级，工程设防烈度 7 度。在阵列厂房、有机蒸镀及成盒厂房、触控及屏体厂房、研发线厂房的二层设有洁净车间，洁净车间总建筑面积为 14.2 万 m2。技术夹层楼板采用华夫板（SMC，空气过滤循环）＋高架地板体系，混凝土结构外露部位涂装环氧树脂，隔墙采用金属岩棉夹芯板，吊顶采用金属盲板＋风机过滤单元（Fan Filter Units，FFU）系统。根据《厂房洁净度等级区域划分标准》要求，职业健康安全（Occupational Health and Safety，OHS）设备区的洁净度为 Class 10，库存传送通道的洁净度为 Class 100，其余区域的洁净度为 Class 1 000，因而洁净车间的洁净标准非常高。

2 重难点分析

洁净车间作为全柔 AMOLED 厂房的核心生产车间，其施工技术有别于普通厂房，主要是由项目特征所决定的：大面积洁净工程的施工技术难度大，平整度控制标准严、洁净标准高，施工环境复杂；技术夹层内存在大量通风设备和工艺管道，作业面存有密集的华夫板的孔洞，吊杆的悬挂点位于屋面钢梁下翼缘，超高作业环境增加施工难度；工程中存在大量的高大混凝土结构柱，柱面需要涂装环氧树脂，施工难度非常大；项目参建单位多，各专业交叉作业频繁，协调管理难度大。

3 洁净施工技术的控制

3.1 金属岩棉墙板施工控制

洁净车间外围墙板起着封闭、隔离外界污染源的作用，是洁净工程施工质量控制的重要环节，对洁净车间的洁净度至关重要。为有效控制洁净车间内的挥发性有机化合物（VOCs）污染和满足防静电要求，隔墙采用面层为防静电和不产生 VOCs 污染物的金属岩棉夹芯板。

3.1.1 金属岩棉夹芯板墙的安装

金属岩棉夹芯板墙的表面应清洁、无破损变形，地轨和天轨均采用铝合金 U 型条，用胀栓按 600 mm 间距分别固定在楼面和梁底。金属夹芯板插入轨道内，在金属夹芯板间的槽口内通常放置中铝条进行连接。完成安装的金属板在洁净区应无暴露螺栓，并随时对金属夹芯板墙的垂直度和平整度进行校核，确保达到垂直度≤0.2%、平整度≤2 mm/2 m 的验收标准。对于末端金属夹芯板墙，应根据实际尺寸进行现场裁切，并用铝合金条收口包边，确保金属夹芯板墙安装严密牢固。完工后，在金属夹芯板的正压面用中性密封胶进行嵌缝密封，再用密封胶对阴阳角处做成圆弧角。

3.1.2 回风夹道处的墙板加固

洁净车间回风夹道处的金属夹芯板高为 14.2 m，柱距为 12.7 m。根据施工单位编制的超高金属夹芯墙加固方案的规定，凡超过 5 m 高的金属夹芯墙必须采取加固措施。考虑到工程的安全，现场采用 100 mm×100 mm×2.3 mm、100 mm×50 mm×2.3 mm 的镀锌方钢焊接成龙骨骨架，再用膨胀螺栓固定在柱面上，形成稳定的超高墙加固骨架体系。骨架安装完成后，对焊缝进行质量检查，符合后方可用防锈漆对焊缝进行涂刷，最后安装金属夹芯墙板。

3.2 吊顶系统安装控制

3.2.1 综合支架系统

按照设计图纸要求，需要用红外线垂直仪进行基准线的放样，要求基准线控制在 ±1 mm 范围内，放样引线控制在 ±5 mm 范围内，X 轴与 Y 轴成直角相交，确认后沿基准线位寻找悬吊挂点，双个 C 型抱箍卡住工字钢，龙骨按悬吊间距 1 200 mm 进行布置。按照设计标高，在垂直方向配 M16 全牙螺杆悬吊于抱箍下端，天花按中心距1 200 mm×1 200 mm 或 1 200×600 mm 组合连接方形调节器，并与 M12 全牙螺杆相连接，形成综合支架系统。所有材料均为热镀锌。

3.2.2 天花龙骨系统安装

天花龙骨系统按标准化模块安装，在库存等局部区域，标高有变化。为满足大面积天花高效率施工，采取地面模块化组装方式。地面组装模块宜以 1 200 mm×3 600 mm 为一个单元，以便人工搬运和垂直传递，同时保证连接件螺栓的安装。组装天花龙骨系统时应注意以下事项。

（1）天花龙骨相对于地板安装高度为 6.0 m～7.6 m，吊装采用人工传递方式，由地面人员和移动登高车人员共同配合安装。在安装过程中，天花龙骨大致起吊到标高后，紧固连接螺栓，只需保证天花龙骨不会脱落即可，以便后续安装盲板和风机过滤单元系统后再进行标高调整；尽量不要破坏保护膜（连接部位除外），以减少后期的清洁工作量。

（2）天花龙骨安装单元和地面单元中心相对缝，安装时须检验两者在垂直方向的一致性；当天花龙骨安装面积超过厂房相邻柱距时，应对已安装单元进行临时定位，防止因晃动而在后续固定吊杆时出现偏差。临时定位宜以厂房相邻的四根柱子为固定单元，安装时须保持吊杆垂直，使吊杆均匀受力，以减少天花龙骨平面位移和不均匀下垂。

3.2.3 盲板安装质量控制

对于洁净车间天花盲板安装的质量控制，必须要保证洁净车间内处于独立封闭状态，同时承受上夹层气流负压作用。针对洁净车间的这一特殊要求，采用以 1 200 mm×1 200 mm×1.5 mm 金属板材作为盲板材料、表面再经烤漆处理的施工方案。在盲板搬运安装过程中，应注意以下事项：小心轻放，避免划伤表面涂层；安装时采用 5 mm 厚密封条粘贴，确保无空隙；安装后应检验盲板的密封性能，并通过增加固定卡片或打胶的方式处理缝隙漏光点。

3.2.4 FFU 安装质量控制

FFU作为洁净车间内“新风机组（Make-Up Air Unit，MAU）＋风机过滤单元（FFU）＋干盘管（Dry Coil，DC）”空气净化系统中保证空气循环过滤的重要环节。FFU 的安装应注意以下事项：FFU 在运输和存放时应根据出厂标记竖向放置，防止剧烈震动和碰撞，每批设备进场必须经灯光检查，保证滤纸、密封胶和框架无损坏；安装前新风机组需要进行 24 h 以上的空吹以净化空气；FFU 内聚氯乙烯（Polyvinyl chloride，PVC）包装保护膜应在洁净车间内拆除，使污染降到最低；安装时必须控制人员与材料的进出，尤其是安装人员必须穿戴洁净服，不得用手或工具触摸滤纸。此外，安装高效过滤器时应注意外框上的箭头与气流方向一致，安装接缝应平直以保证在同一平面上，安装固定后禁止拆卸以防遭受二次损坏。

3.3 环氧树脂涂装工程控制

3.3.1 环氧树脂工程特点

环氧树脂涂装工程漆具有强度高、耐磨、无接缝、防腐、防水、防尘、保养方便、维护费用低等特点。为满足洁净厂房防尘、防静电的要求，采取以下施工方案：下夹层为 3 mm 防静电环氧自流，华夫板楼面为 0.5 mm 厚环氧自流平，柱面、梁面为 0.5 mm 水性环氧树脂涂装。

3.3.2 基面处理

首先检查是否达到环氧施工基本条件：混凝土浇筑养护≥28 d、混凝土抗压强度≥25 N/mm2、抗拉强度≥1.5 N/mm2、基层含水率≤8%，室内环境温度≥5℃。其次检查混凝土表面是否平整密实，具体补救措施如下：对松软面层或突起物用环氧腻子进行批刮补平；对不规则裂缝切成 V 型缝并清理干净，再用环氧腻子填充补平，待干燥后用无尘研磨机对楼面进行整体打磨；用手提式砂轮机对回风夹道梁、高大柱面进行打磨，使基层表面露出混凝土纹理，以利于环氧底涂更好地渗透，增强涂层间的粘结力。

3.3.3 底漆涂装

首先充分搅拌环氧树脂底涂 A 组分（Sikafloor®-161），然后全部加入 B 组分，再使用电动搅拌器进行搅拌，时间至少 2 min，使 A、B 组分完全混合；加入石英砂搅拌，时间至少 2 min 以获得均匀的混合物；在可使用时间内，用刮板进行批刮作业，确保覆盖基面的涂层连续、均匀，无气孔或漏涂现象，且充分干燥。

3.3.4 中涂层涂装

中涂层施工前，对底层作如下处理：底涂层施工完成后，若局部地面出现破损、不平整现象，则采用环氧砂浆批刮，具体操作如下：将环氧树脂主剂、固化剂混合，加入一定比例的石英砂，采用搅拌机械充分拌匀；将拌好的配料用刮板刮涂，涂装时要做到厚薄均匀，养护 24 h。中涂层涂装时，首先按照 2∶1∶4 的比例将环氧树脂、稀释剂、硬化剂混合均匀，再加入硅砂，搅拌均匀后直接倒在地面上，然后采用镘刀使浆液在中涂层表面均匀流展，并使其达到初步平整。为了避免气泡产生，应使用消泡滚筒进行消泡，待充分干燥后进行砂磨并吸尘。

3.3.5 静电释放（Electro-Static Discharge，ESD）层涂装

根据防静电要求，应布置铜箔静电释放层。先对防静电地面进行画线布置，然后铺置导电铜箔，完毕后配合电气施工，在结构柱上适当预留接地端子盒。在地面施工完毕后，将防静电地面内的金属线与该接地端子盒相连。另外，在土建施工过程中该接地端子须在柱内与防静电铜线连通，使静电通过接地端子沿柱内铜线流向地极。通常，防静电接地电阻的阻值≤10 Ω。

3.3.6 面层涂装

当地面导电层强度达到质量要求后，对地面存有刮痕的部位进行二次打磨和清理。面漆涂装采取二道成活的施工方案，应在周围形成密闭空间及上夹层管道安装完成后进行，具体操作如下：按配比将 A、B 两个组分充分搅拌2 min 后均匀倒在地面上，使用专用镘刀进行第一道环氧面漆的涂装，过程中若发现有沙粒杂质须立即去除，同时确保环氧面漆不得有漏涂、堆积、滴挂等现象；第二道环氧面漆涂装应在第一道面漆完全干燥后进行；在第二道面漆涂装完成 7 d 后，对环氧涂层的抗拔承载力和厚度进行检测，确保抗拔承载力≥2.5 MPa，涂层厚度符合设计要求。

3.4 高架地板安装工程控制

3.4.1 放线打孔

首先根据高程点在柱面弹出标高控制线，再选取中心基准点，用经纬仪放样形成 X/Y 轴基准线；然后根据 X/Y 轴基准线确定立柱安装基准线，借用由 4.5 mm 厚镀锌钢板制成的标准方形块画出膨胀螺栓点位，再用 M14 冲击钻头对定位点钻孔，深度达到 70 mm 即可。

3.4.2 立柱、横梁安装

首先用吸尘器将孔内的积灰清理干净，注入 30 mm 密封胶，嵌入套管后安装膨胀螺栓，将立柱初步固定在安装好的膨胀螺栓位置；其次用镀锌垫片和水平尺对立柱进行调直、调正，严格控制立柱的定位，每隔一段距离检查立柱的中心线距离，确定与图纸一致后锁紧立柱；最后用自动水平仪引入标高控制线对立柱进行调平，调平的立柱间距为 600 mm×600 mm。通过横梁连接立柱，形成整体后紧固连接螺栓。安装完成后，用 2 m 铝合金方管对立柱、连杆进行验收，若发现超出偏差要求，则对螺丝进行微调，保证其平整度达到验收标准，即≤2 mm/2 m。

3.4.3 高架地板安装

安装高架地板时，首先在选定区域中间位置进行基准高架地板的安装，安装高度与标高控制线一致，用水准仪校准后锁紧支架螺母。施工时，边安装边校核高度，确认相邻地板水平后紧固安装螺母。安装应从厂房的几何中心处柱位基线开始，依次向四周同步展开，以最大限度地消除安装生产的累计误差。对于不足标准板的部位，如厂房四周、柱边缘、防微基础边等，应安装异型板，并且根据实际尺寸对地板和横梁进行裁切后再安装，安装后应做好对切割剖口的收边处理。高架地板安装完成后，应重点检查以下施工效果是否符合以下质量要求：表面平整度≤2 mm/2 m、接缝顺直、行走无声响、牢固稳定、表面无污染。符合后用防尘薄膜覆盖。

4 施工效果评价

为确认洁净车间工程施工质量是否符合设计和相关标准、规范要求，先后要对洁净车间进行 3 次验收，即中间验收、施工验收和性能验收。当中间验收和施工验收合格后，彻底全面清洁被测环境和通风系统，并至少让系统连续运行 12 h，随后由建设单位委托第三方检测单位对洁净车间的综合性能进行检测，具体如下：结合工程设计参数和生产环境要求，分别对空气洁净度级别、表面洁净度级别、甲醛浓度、温度、相对湿度、噪声、照度、系统新风量、静压差、表面导静电、送风高效过滤器扫描检漏等项目进行检测。检测结果表明，检测项目的数值处于合格指标的范围内，结合中间验收和施工验收的综合评价结果，即洁净车间工程质量符合设计和 GB 50591—2010《洁净室施工及验收规范》的相关要求，同意验收。

5 结 语

现代洁净技术的发展是由微电子技术的发展推动起来的，而微电子技术的发展对洁净技术也提出了更高、更新的要求[2]。面对全柔 AMOLED 面板生产线洁净装饰项目空间大、周期长、专业多、系统复杂、自动化程度高等特点，项目管理单位在施工前制定了严格的施工标准，在施工中加强了对原材料和施工技术的控制，从而取得了较为理想的工作成果，为洁净施工技术的日臻完善，积累了有益的经验。