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硅片多线切割机主辊变形的研究分析*

2015-11-23殷华林

机械研究与应用 2015年2期
关键词:切片机硅片钢丝

殷华林,岳 伟

(常州贝斯塔德机械股份有限公司,江苏常州 213023)

0 引言

目前市场上主要还是以国外进口机器为主,国产机器只占了不到10%左右的份额。主辊作为切片机的一个关键部件,对切割的影响较大[1-2]。在实际切割过程中,其主要部件主辊的变形对切割的成品率有很大的影响,如何有效的控制主辊的变形,在降低主辊重量的同时,提高主辊的刚度,是一个重要的课题。

不同长度、不同直径的主辊,其受力也不同。主辊的受力从几吨到几十吨,对主辊的变形影响较大,分析不同机型的主辊变形及其变形对切割硅片质量的影响,对多线切割机的发展有较大意义。

1 基于静力学分析对主辊的变形研究

1.1 模型的建立

对于主辊而言,主要参数为长度、直径和重量,目前市场上主流机型的主辊长度为320~1 040 mm,直径为200~350 mm[3-4]。重量根据材质不同,范围也很大。但是主辊的工作原理,其结构基本相同,其影响切割因素主要是主辊变形对切割的影响。先选择市场上保有量最大的一款机器的主辊进行建模分析。

1.2 载荷的施加

不同的主辊其受力情况也不同,一般来说,长度越长,主辊上的切割钢线数量越多,其受力越大。切割钢丝的张力也会根据不同机型、不同的切割工艺有所调整,一般张力为10~35 N,变形分析时采用的是主辊常规使用时的受力情况,如图1、2所示。

图1 切片机主辊模型

图2 切片机主辊网格划分

这里选择的是长度520 mm,直径300 mm的主辊,通过计算其承载力约为51 kN,换算为压力后可以直接施加在模型上,如图3。

1.3 模型求解的结果

通过对模型的求解分析,可以得出主辊模型的变形分布图,如图4。

图3 施加的载荷和约束

图4 长度520 mm空心主辊的变形分析图

通过变形图可看出,主辊中部变形较大,有23 um,两端变形较小,基本接近于0 um,此模型等同于简支梁受均布载荷的情况,中部是弯矩最大的地方。

2 多线切割机主辊的变形对切割质量的影响

2.1 主辊变形对线网张力的影响分析

图5为两主辊切片机结构图,由变形图可看出,中部变形量较大,两端的变形量较小,这样钢线一圈的长度拉伸不同,张力也就不同,下面通过公式计算钢丝张力的变化。

在弹性形变范围内,正应力和线应变成正比,即:

式中:F为切割钢丝的张力;ΔL为切割钢丝的伸长量;S为切割钢丝的截面积;L为切割钢丝的原长;E为切割钢丝的弹性模量。

由于主辊受力变形引起的钢丝变形量设为ΔL,一圈钢线变形前总长度为2A+π·D,变形后总长度为2A+π·D-ΔL,钢丝的截面积 S=π·d2/4,其中 D为切割钢丝的直径。

将各参数代入式(1)中可得张力最大变化为:

设单个主辊通过有限元求解出的最大变形结果为 δ,则 ΔL=4δ式(2)可代换为:

式(3)得出了变形与张力变化的关系,通过有限元计算不同机器的主辊变形可得其张力变化关系。

而线网张力不均匀的变化对切割硅片的影响较大,切割应用中已经证明线网波动太大,硅片的A片合格率会明显降低。

图5 两主辊切片机结构

2.2 主辊变形对线网线距的影响

主辊受力产生变形后,通过图4可看出,中部变形量大,主辊的表面涂覆的槽距均匀的线槽也会产生不同的变形,中部主辊受力会变长,槽距会相应的增加,这样织出的线网线距就会产生不均匀的变化。通过实验可证明,当变形量增大到一定程度时,主辊中部切割出的硅片质量不合格率明显提高。此变形量与合格率的关系,还有待进一步的研究。

2.3 不同机型的主辊变形的对比

对市场上面常见的一些机型主辊进行了受力变形分析,主辊长度从520~1 040 mm,包括实心和空心的主辊变形也进行了对比,如图6所示。

图6 常见主辊的受力变形对比

通过分析可看出,主辊越长,其变形量相对增大;实心的主辊比空心的主辊变形有大幅降低。但从设计来说,实心主辊的大惯量对频繁加减速是个不利因素。轻量化、高刚度的主辊是将未来发展的趋势。而在设计新主辊时,过度的轻量化会导致切割时主辊变形量过大,影响切割的质量。

通过主辊变形的分析,可得出在主辊设计时,最大变形量需要控制,在保证主辊结构刚度的同时,变形一般也要控制在一定范围内,这样在切割时由于主辊产生的影响会小很多。同时,主辊的直径和长度也需要有限元分析,得出最佳的尺寸范围。

3 结语

通过静力学有限元分析主辊的变形,运用数学公式分析变形对切割时产生的不利影响,并进行目前市场上不同主流机型的主辊对比,可看出主辊的变形量对设计主辊时有一定要求,变形量最大不的大于50 um。通过变形量对张力波动的影响,可得出控制主辊的变形量能够有效控制切割的硅片合格率。通过对主辊变形的研究,对主辊的参数设计有较大的参考意义,对切片机的设计和研究有一定的指导意义。

[1] 欧阳桥桢,胡根平.硅晶片金刚线多线切割机[J].现代机械,2013(1):54-58.

[2] 种宝春.多线切割机的切割运动分析[J].电子工业专用设备,2010(39):31-35.

[3] 殷华林,岳 伟.金刚线多线切割机主辊参数研究[J].机械研究与应用,2014(5):4-6.

[4] 彭思齐,戴瑜兴,蒋 近.带摆动机构的多线切割机控制系统研制[J].机械工程学报,2011,47(19):181-186.

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