2015年前三季中国大陆13类半导体设备进口情况

2015年1-9月13 类半导体设备进口12 381台，与去年同期相比增长13.2%，进口金额为35.63 亿美元，与去年同期相比减少1.2%。

其中，化学气相沉积设备进口额最高，达到9.42 亿美元。IC 工厂专用自动搬运机器人增长最快，进口金额同比增长45.4%，硅单晶炉进口额最少，仅638.1 万美元，进口额降幅也最大，同比下降84.8%。

2015年1-9月13 类半导体设备进口情况表