微电源发展及其在引信中的应用展望
2012-08-27王莹澈李要民李仁杰李世文
王莹澈,李要民,李仁杰,李世文
(1.西安机电信息技术研究所,陕西 西安 710065;2.机电动态控制重点实验室,陕西 西安 710065)
0 引言
微电源没有严格的定义,在20世纪90年代初提出微电池的概念,国外某些专家建议,把微电池定义为其底面积不大于10 mm2的电池,微电池的功率范围应在微瓦级,并具有与微电子芯片、MEMS集成的相容性、自控性和可移动性[1-5]。
国内外已有多个研究机构开展微电源研究,并不限于微电池,其研究也不仅限于民用领域,在军工技术领域,也有报道[6-10]。目前研究较多的微电源有以下几类:一类是基于目前已有的电源体系,通过新加工工艺达到较大幅度地缩小体积的微电源,如:微型涡轮电机、微型锂电池、微燃料电池、微温差电池等;一类是通过先进制造工艺达到高密度安装单体电源的微电源体系,如:微太阳能电池、压电膜电源;还有其他类型的微电源,如:核能电池、混合电池等。相对于传统的电源,微电源是一个新的领域。
引信小型化是引信发展的方向之一,引信电源微小型化也受到了较大的关注,为了使引信微电源需求与未来引信微能源的可能技术方案相结合,本文对微电源技术及其在引信的应用前景作一探讨。
1 微电源应用于引信需要解决的几个问题
引信电源,有一定的电压和功率要求,使用条件比较苛刻,如高过载、高转速、比较宽的温度范围、小尺寸、复杂的动态使用环境、复杂的勤务处理环境、10~15年的存储期等,因此,微电源在满足以上条件下,应能保证能量供给可靠性。
1)微电源作为供能元件,其电性能输出需要满足引信使用要求,要求有较高的体积比和功率比,经过复杂的勤务处理和10~15年的长期的储存后,电源是否具有原先设计的使用性能,直接关系引信系统正常作用的可靠性。
2)微电源必须满足引信高过载、高转速的要求。通过微组装形成的微电源阵列群,其强度特性对于引信来说都至关重要,必须能承过载(几万个g和几万转每分钟)冲击的要求。引信作用过程中,所承受的直线过载及离心过载都比较大,电源阵列不能在过载条件下发生散乱或者其他不希望的变化,这些变化对于引信系统来说都是致命的。
3)微电源必须满足引信比较宽的温度范围的要求,还要经受引信环境试验中的温度冲击。微电压因为体积小,温度的变化有可能导致输出性能有较大的变化,但变化范围应能满足引信的使用。
4)电源与引信的接口方式需要更改。传统引信用储备电源,特别是储备化学电源的接口方式与引信采用接插件连接或通过引线焊接,已经不适用引信微电源与引信其他功能之间的连接。微电源的加工以微组装工艺来实现,电池单元之间的联接方式,以及相互之间的稳定性都会对引信线路产生比较大的影响,需要有可靠的接口设计来保证电源的输出特性,保障引信的可靠性。
5)引信微电源的设计、加工与制造工艺需要符合微组装的要求。传统的引信电源作为引信的一个部件独立设计、加工、制造。而采用微电源,传统的引信电源加工方式已经不能发挥应有的作用,需要通过引信与电源集成设计,同步加工才能完成。
2 几种微电源的发展现状
2.1 微涡轮发电机
微涡轮发电机基本组成包括微型燃烧室、微型压缩机叶轮、微型涡轮等。其工作原理是:液态的碳氢化合物燃料在微燃烧室中被点燃、燃烧,燃气推动微涡轮系统的叶轮带动微发电机输出电能;微涡轮系统的叶轮同时驱动压缩机,压缩机吸入空气或是助燃剂,保证燃料继续燃烧。
麻省理工学院(MIT)气体涡轮实验室研制的微型涡轮发动机,如图1所示。微型的涡轮叶片只有衬衫的纽扣大小,直径为4 mm,见图2。他们还制造了2 mm长的微型燃烧室,材料都是硅,制造工艺与IC工艺相似[11]。他们希望在硅片上制造质量仅为1 g的涡轮发电机,能够输出10~20 W的电能。
图1 麻省理工学院研制的微型涡轮发电机Fig.1 Micro-t ur bine generators of MIT
图2 麻省理工学院研制的微型涡轮图片Fig.2 Micro-tur bine of MIT
随着MEMS技术的发展,研究人员在考虑使用碳化硅,以减少热量的损失。采用整体设计,减少活动部件,可以减少摩擦损失。用MEMS工艺制造高效的催化剂,设计带有微通道的燃烧室,选择燃烧稳定的燃料可以改善燃烧稳定性,提高微型内燃机转化效率。如采用碳氢燃料的能量密度约为40~50 MJ/kg,即使转化效率为5%,其能量密度也能达到2~2.5 MJ/kg(555~700 Wh/kg),要比普通化学电池高数倍,非常可观[12]。
图3是美国加利福尼亚大学伯克利分校研制的第一代MEMS回转式内燃式发动机,其目的之一是替代电池组,体积77.8 mm3,最大转速为30 000 r/min,输出功率29 W,为微-旋转发动机提供了技术储备[13]。
下一步的工作包括使用气体燃料如氢、甲烷、丙烷,用电动机驱动发电机,测试密封性能。微型发动机的尺寸将是:半径0.5 mm、深0.1 mm、体积0.013 mm3,将用硅或是碳化硅制造。
Honey well技术中心[14]正研究设计一种微型的自点火内燃发动机和发电机系统。它以丙烷、丁烷或柴油为燃料,目标是可输出功率5~10 W/c m3。预计这种发电机的功率密度为5~10 W/c m3,体积为0.005 c m3,机电转化效率最高可达80%,质量为(主要是电磁铁)10~20 g,比能量大于3 500 Wh/kg。
图3 微型内燃发动机Fig.3 Micro-inter nal co mbustion engine
2.2 微太阳能电池
美国Sandia国家实验室在1999年研制了微太阳能电池,提供75 V电压,驱动两种具有武器保险性能的MEMS组件,其光源来自光纤。日本三洋公司1997年研制出了高电压、高输出功率的微型太阳能电池,电压达207 V,输出功率为4.65 m W。日本三菱公司也有微光伏器件的报道。伯克利大学、路易斯安那大学研制了用于静电MEMS器件的高压太阳能电池:采用三层非晶硅结构,电压可达1.8~2.3 V,在1 c m2面积上串联了100个单元,电压为150 V。1999年,Stanford大学和Hughes公司合作的研究项目中用微太阳电池驱动射频MEMS开关。麻省理工学院1999年报道研究用于MEMS的微太阳电池,采用V型槽多结结构串联了7个电池单元。1999年日本丰田公司做的砷化镓太阳能电池,在0.8 mm×1.0 mm面积上串联24个单元,电压达22.5 V[15]。
2.3 微压电电源
国内外压电电源的文献较多,由于引信上具有较好的冲击和振动环境条件,压电电源在引信上使用较多。近年来,微压电电源在国内外研究也多,不仅可以作为供电能源,也可以作为传感器件。压电微电源的能量转换结构以“三明治”悬臂梁和双层压电悬臂梁为主。“三明治”悬臂梁结构如图4所示,压电材料选择压电系数和机电转换效率较高的锆钛酸铅(Pb(Zrx Ti-1-x)O3,简称PZT)。两层压电材料夹着一层弹性金属层,利用MEMS工艺加工微型压电悬臂梁多为在硅或多晶硅上作单层或多层PZT薄膜。
图5是一种微压电悬臂梁结构[16]。
图4 压电悬臂梁Fig.4 Piezoelectricity cantilever
图5 微压电悬臂梁结构Fig.5 Configuration of micro-piezoelectricity cantilever
2008年,韩国电力研究协会的S.J.Jeong研究小组制作出了基于双层PMNZT压电片的微能量采集器,在120 Hz、0.1 g加速度下器件的峰值电压为2 V,功率为0.5 m W[17];美国 Aubur n大学材料学院的D.Shen等人制作的微压电电源,质量块为Si材料,用刻蚀的工艺实现,完全集成在MEMS工艺中,悬臂梁4 800μm×400μm×36μm,在461.15 Hz、2 g加速度下,器件峰值电压为0.16 V,功率为2.15μW[18];上海交通大学与美国 Honey well公司合作开发的微压电振动能量采集器样品,通过MEMS技术制造Si悬臂梁,然后采用Sol-Gel工艺在悬臂梁上表面制作了PZT压电层和电极层,最后在悬臂梁末端粘结上Ni质量块,基本参数是:悬臂梁3 000μm×1 000μm×15μm,在229 Hz、2 g加速度作用下,器件的峰值电压为3.93 V,功率为2.25μW[19]。
2.4 微型锌镍电池
微型锌镍电池的密封是研制这种微电池的一大难题。由于封装不良,在这种微电池充放电循环过程中造成电解液损失,会影响电池寿命。国外开展用于MEMS和其它微集成电路的微型锌镍电池,采用MEMS和其它集成电路相同的低成本、高效率生产工艺制造,可以以任何形状及尺寸,以不同的组合方式应用不同的场合。微型锌镍电池可以独立于MEMS器件或集成电路单独制造,然后再从外部与已经做好的器件相联,也可以作为MEMS和其它微集成电路的一个部件,作为内置式的电源时用,可以减少集成电路的功耗。美国Brigham Youngh大学和Bipolar Techno-logies公司正在联合开展用于MEMS和其他微电路的微型锌镍电池的研究工作。最新研制的微型锌镍电池,电池面积小于0.1 c m2,厚度为100μm,能量输出密度大于150 m W/c m2,具有高的体面积容量,约为1 mAh/c m2,如图6所示[20]。
图6 微型锌镍电池Fig.6 Micro-zinc-nickel cell
2.5 微型锂电池
目前微型锂电池一般都制成薄膜电池的形式,利用各种沉积技术制成各种二维形状的电池就能够方便地与MEMS集成在一起;或者利用集成电路的制造工艺,大批量单独制造或是与集成电路同时制造微型锂电池,有关这方面研究工作还在进行中。整个电池的厚度大约几十微米,面积可以设计成平方厘米的范围。电池是传统的积堆回路形式。由锂锰氧化物(或者锂钴氧化物)、锂磷酸盐氧氮化物和锂金属交互层组成。对于Li Co O2-Li基电池最大额定电压为4.2 V,连续和最大电流约为1 mA/c m2和5 mA/c m2[20],电池的组成示意图如图7。
图7 一种薄膜锂电池的剖面示意图Fig.7 Cutaway view of fil my-lithiu m cell
二维锂微型电池存在脱嵌锂困难、电解质膜和电极膜有效面积接触面太小的问题,为此人们论证了三维电池结构,如图8所示,该结构可以有效增大电极和电解质接触面积并有利于锂离子的移动[21]。
图8 一种三维电池结构剖面示意图Fig.8 Cutaway view of 3D configuration cell
国内在已有电池的技术基础上,通过结构微型化设计,目前在微锂二氧化锰电池研究上开展了相应工作,单体电池尺寸为Φ6 mm×6 mm,通过密集排列焊接,可形成高度不超过7 mm的电池组。单体电池输出2 V以上电压。电池1 kΩ放电数据如表1所示,在200Ω条件下的快速放电试验数据如表2所示。
表1 微锂二氧化锰电池负载1 kΩ放电数据Tab.1 Discharge of micro-Li-Mn O2 cell(1 kΩ)
表2 微锂二氧化锰电池负载200Ω放电数据Tab.2 Discharge of micro-Li-Mn O2 cell(200Ω)
2.6 微燃料电池
燃料电池有高的比能量,有较高的热机效率,没有污染,可以安静和连续地工作。如果能够实现微型化,将是一种非常有前景的MEMS能源。制造高效、微型燃料转化器、微型反应器、催化剂、隔膜,是实现微燃料电池系统的关键[12]。
德国的夫琅和费实验室已进行了相关的研究。实验中以质子交换膜燃料电池(PEMFC)为原型,以氢气为燃料,以氧气为氧化剂,制作了一个微燃料电池。所用的材料为经过特殊处理的不锈钢,在制造中采用了机械打磨和切割加工技术。五个单电池组成的电池堆(不包含附加设备:燃料储存、输送及冷却系统等)的输出功率为250 m W,体功率密度为1 W/c m3,电池堆的总高度约为2.25 mm。单电池的结构如图9所示[22]。
图9 单电池的结构Fig.9 Configuration of unit cell
清华大学研制的微型直接甲醇燃料电池的实物图如图10所示,整个电池的尺寸为14 mm×12 mm×1.5 mm。室温常压下,阳极通入甲醇溶液浓度4 mol/L,阴极通入空气时,单电池的开路输出电压为0.4 V,但输出电流较低,在100μA以内。当输出电压为0.21 V时,最大输出功率为15.6μW(2.11 μW/c m2)[4]。
图10 微型燃料电池实物图Fig.10 Micr o-f uel cell
美国新泽西州立大学正在研发一种带有自控装置的有集成燃料存储系统的微空气燃料电池,如图11所示,该微电池和传感器、电子器件组装在一块线路板上,形成一个无线传感器。经测试,基于NaBH4的集成表面存储微燃料电池已达到67%的氢气利用率,具有2 m W/c m2的持续稳态输出和10 m W/c m2的脉冲输出,总能量约为50 m Wh。美国新泽西州立大学正在研发的另一种集成式微处理器和燃料电池,如图12所示,利用成熟的催化技术和现成的燃料电池将燃料和水转化成H2和CO2,然后燃料电池再将H2转化成H2O和电能,体积小于5 mm3,输出功率10~500 m W[23]。
2.7 微温差电池
近年来,国外已投入大量资金及精力研制微型温差电组件。美国国防部高技术预研局(DARPA)投入大量资金用于低维高性能温差电材料的研究。目前,科学家正在考虑将纳米温差电材料制成微温差电池[15]。
图11 微空气燃料电池及系统图片Fig.11 Micro-air-f uel cell system
图12 集成式微处理器和燃料电池图片Fig.12 Micro integration pr ocessor and f uel cell
温差发电机的原理是将两种不同类型的热电转换材料N和P构成环路,在其一个接点处加热,保持另一个接点的温度低于这个接点,由于高温端的热激发作用较强,此端的空穴和电子浓度比低温端高,在这种载流子浓度梯度的驱动下空穴和电子向低温端扩散,从而在低温开路端形成电势差。将许多对P和N型热电转换材料连接起来组成模块,就可得到足够高的电压,形成一个温差发电机。这种发电机在有微小温差存在的条件下就能将热能直接转化为电能,且转换过程中不需要机械运功部件,也无气态或液态介质存在,因此适应范围广、体积小、重量轻、安全可靠[21]。
德国薄膜温差电系统公司,将Bi Te基温差电材料磁控溅射到聚酰亚胺薄膜上,然后利用标准薄膜技术制作微型温差电池。微电池体积0.22 c m3,包含2 250对膜厚度为2.5μm的温差电偶。该微电池在温差20 K、负载电压4 V时,可以产生20μW电功率,比功率接近90μW/c m3。据说,用类似工艺制作的微型温差电池的极限输出功率可达到60μW[15]。
2.8 微核电池
核能电池是指从放射性元素衰变转换电能的能量转换装置。目前主要是α和β粒子与P-N结一起构成的微核电池。它是将β粒子的能量直接转变为电能,这种电池体积小、重量轻、结构简单、独立操作性好。在结构形式上,通过倒三角槽或者倒金字塔阵列,以及垂直侧壁方孔阵列型表面结构扩大接触,并通过在表面上蚀刻或者金属沉积更进一步地扩大接触面积,达到工作状态稳定的目的。能量结构的掺杂浓度,以及结构表面沟、槽的最佳深度都不得影响到电池的工作稳定性。目前普遍使用掺杂63Ni同位素来设计核能电池[24]。美国Wisconsin大学的科学家研究P-N结型微电池,硅作为衬底,2.368×106 Bq的液态放射性同位素63 Ni(半衰期100 a)作为辐射源。已经报道的测试结果,0.05 V电压时电流为1.3 n A,输出功率达0.07 n W[25]。
2.9 混合电池
混合电池由能量转换器件(如太阳能电池、压电式电池)、能量储存用微电池、控制/接口电路组成。混合电池的关键部分是能量转换器件与微电池。能量转换器件有太阳能电池与压电式电池两种。此类电池可从外界环境获取能量,维持系统的运行,并为微电池充电,能量获取器件的尺寸应满足平均功耗的需求。当系统运行的某些特定时刻出现对能量的峰值需求时,微电池储存电能对系统供电,另外在能量转换器件无法正常工作时,还可以为系统提供能量,目前混合电池还处于研究阶段[26]。
3 不同微电源在引信中的应用展望
微涡轮发电机可作为引信的一种表面安装能源,利用引信弹道环境中的空气或内置阻燃剂,可以提供较高的能量,可以通过阵列来满足引信所需的电能量,不存在存储过程中的能量损失问题,解决好在引信应用中强度问题、耐热问题、防雨、防尘等问题,具有很好的应用前景。
采用太阳能作为能源供给,在常规引信上的应用有一定的技术困难,雨天、夜晚都对太阳能微电池的发电产生影响,但在特种引信,如地雷引信或干扰弹引信,与超级电容器联合使用,可作为辅助能源或补充能源。第53届美国引信年会报道了超音速弹基于热光电转换材料的发电机,无初始能量、安全、存储性好、体积小、可减少弹上电池或电容器的体积[27]、可利用光能量,因此,太阳能微电池,在特种引信上应有一定的应用空间[27]。
微压电电源,可以较好地利用引信发射的后坐过载和振动发电,配合集成在线路中的电容器可实现对引信线路的供电,也可作为引信中的传感器件,有广阔的应用前景。
微锌镍电池,具有高的体面积容量,在引信中配合MEMS过载开关和其他微集成电路的部件,作为内置式的电源使用,有一定的应用前景。
三维锂微型电池可较好地解决嵌锂困难、电解质膜和电极膜有效面积接触面小的问题,解决好储存期间的密封和钝化问题,在引信中配合MEMS过载开关,在引信中应用是可行的。其他类型的微锂电池也可以作为引信中的查询电源。
美国专利 W022008143707A2I.2008年11月27日报道了一种用于陆军火炮或其他军种弹丸的弹道修正引信。该引信用的电源是新型的燃料电池,在内部设计了两个激活杆,分别激活氢气室和氧气室,电池激活后气体通过气体流散器到达催化剂薄膜发生电化学反应,给引信体供电[28]。微型燃料电池集成在引信线路中,通过控制装置,在引信中的应用研究有较大可能。
利用引信在外弹道上的摩擦产生的热量,微温差发电机也有作为引信电源的可能。
其他类型的微电源,混合微电池也有作为引信电源的可能,但微核电池由于存在存储性问题,在引信上的应用可行性较小。
4 结论
本文分析了微电源用于引信需要解决的问题,对国内外目前正在研制的主要微电源进行了介绍,并分析了微电源应用于引信的技术可行性,认为:微涡轮发电机、微压电电源、微燃料电池具有较好的应用前景,微锌镍电池、微锂电池、微太阳能电池等也有一定的应用可能。微电源作为引信微小型化的关键技术之一,可以参考和借鉴微电源研究的技术途径,但还要考虑作为引信电源的特殊要求,解决实际应用问题。从长远发展来看,引信用微电源应与引信其他微机构、微系统同步开展研究工作,并引起重视。
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