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大幅提高液体过滤性能 降低半导体和微电子制造成本——新式GORE®过滤芯参展SEMICON China 2010

2010-08-15

电子技术应用 2010年5期
关键词:膨体戈尔聚四氟乙烯

2010年3月16日,膨体聚四氟乙烯 (ePTFE)的发明者和膨体聚四氟乙烯工程材料的全球领袖W.L.Gore&Associates(戈尔公司),借助GORE®过滤芯的推出宣布了过滤技术的一项重大进步。该系列筒式过滤芯将在SEMICON China 2010展会上正式亮相、继而引入中国市场。该产品采用新式高通量膨体聚四氟乙烯(ePTFE)过滤介质,其通量是目前市场同等精度最优过滤芯的3倍,同时不会牺牲过滤精度。这种性能水平可让原来使用其他过滤介质的应用领域实现成本的优化和节约。

GORE®过滤芯有亲水型和憎水型两类,可提供各种孔径等级。在超纯水和去离子水设施、高纯化学品处理和水的使用点过滤、以及湿法工艺装置使用的化学品和稀释化学品领域,有助于降低成本并提供性能优势。在现有工艺中改用 GORE®过滤芯,可改善过滤精度表现、减少颗粒数量、降低运行压差、缩短处理时间和加快槽液周转。过滤芯可保持、甚至提高通量,而需要的过滤芯数量仅为原来的1/3,大大降低了投资和运行成本。同时,还可以降低工艺改造的相关投资成本。

GORE®过滤芯所采用的戈尔技术,在全球半导体、电子、超纯水、高纯化学品处理和制药行业的最佳性能滤芯中有数十年的应用经验。30多年来,公司一直为微电子厂商提供高性能产品,并成为越来越多知名行业厂商的首要选择。

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