柔性透明导电薄膜的研究现状、应用及趋势

赵玉涛　何维凤　李素敏　李长生

摘要：综述了目前制备柔性透明导电膜的主要技术及其优缺点，柔性透明导电薄膜是在柔性衬底上沉积的一种透明导电膜，制备这种膜首要的问题是选择合适的衬底材料，其次就是选择合适的制备技术，降低TCO膜的电阻率，提高可见光区的透射率，使薄膜性能稳定，重复性好，成本低，达到实用要求，文中阐述了当前该领域的研究现状，并讨论了工业应用对柔性透明导电膜的性能要求及其未来发展趋势．

关键词：透明导电；薄膜；柔性衬底；ITO；ZnO

中图分类号：TN304

文献标识码：A

文章编号：1671—7775(2005)01—0062—05