荷兰光刻机巨头联合创始人维姆·特鲁斯特去世

6月11日，据报道，荷兰光刻机巨头阿斯麦（ASML）在社交平台发文，悼念其创始人之一维姆·特鲁斯特的离世。

据介绍，特鲁斯特于1925年在荷兰海牙出生，他在阿斯麦的创立、崛起与创新过程中都起到了举足轻重的作用。上世纪70年代末和80年代初，半导体制造技术的规模和复杂性的快速增长，推动了这一行业价值链的分工，专业设备供应商对于开发复杂的光刻系统变得尤为重要。在此背景下，飞利浦开始研发自己的晶圆步进机，用于对硅晶圆进行图案化。

特鲁斯特正是飞利浦晶圆步进机的开发人员，也是在飞利浦管理团队会议上唯一一个表示对光刻机研究有兴趣的人。1984年，飞利浦和ASM成立合资企业阿斯麦。1987年，当时摇摇欲坠的阿斯麦群龙无首，刚从飞利浦退休两年的特鲁斯特决定出任阿斯麦的首席执行官他带领ASML度过了1988年的危机，直至1990年再次退休。