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俄罗斯放狠话加快自研光刻机

2023-09-04

现代经济信息 2023年16期
关键词:光刻机光刻微电子

据俄罗斯媒体报道称,为了推进自研光刻机进度,其已经敲定了相关的合作伙伴。据悉,俄罗斯方面将为两大白俄罗斯微电子领域项目提供约100 亿卢布信贷支持,受资助企业包括集成电路成套工艺领域的Integral 和精密光刻设备领域的Planar。

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