上海光机所在磨料水射流超精密加工理论及工艺研究中取得新进展

近日，中国科学院上海光学精密机械研究所精密光学制造与检测中心实验室在磨料水射流超精密加工理论及工艺研究中取得新进展。该研究成果拓展了磨料水射流加工的应用场景，同时为中频误差的抑制提供了一个全新有效的方法，对光学加工的发展有重要的指导意义。相关成果发表在Optics Express上。

该研究基于Preston经典加工理论通过复数频谱最优化建立的拓展模型验证了稀疏“双步距栅格路径”的存在，其可以通过抑制误差频谱的前两阶峰值来实现周期性条纹误差有效去除。本研究通过该模型能准确得出最优加工参数，再利用磨料水射流抛光去除函数尺寸小的特点在最优加工参数下将去除量精确落到中频误差的高点处，从而实现中频误差的保形高效去除。研究发现在磨料水射流超精密加工中通过特定的稀疏“双步距栅格路径”在去除子孔径抛光中残留的周期结构条纹（中频误差）上有显著优势。相关工作得到了上海市扬帆计划、国家自然科学基金、中国科学院青年创新促进会的支持。