一种三氯化硼的纯化装置

申请(专利)号：CN202121802320.0

公开(公告)日：2022-03-15

申请(专利)人：重庆凯益特种气体有限公司

摘要：本实用新型公开了一种三氯化硼的纯化装置，涉及电子气体装置技术领域。本实用新型包括三氯化硼原料瓶，三氯化硼原料瓶的一端通过管道连接有第一加热箱，第一加热箱的一端通过管道连接有减压阀，减压阀的一端通过管道连接有高温炉，高温炉一侧的底部设置有出料管道，高温炉的一端通过管道连接有冷却器，冷却器的一端通过管道连接有吸附器。本实用新型通过冷却器、吸附器、过滤器和精馏塔的配合，使得装置在使用时能够便于将低纯度的三氯化硼提纯为高纯度三氯化硼，且通过第一气管、第二加热箱、第二气管、氮气储存瓶和连接柱的配合，使得装置在使用时能够便于通过加热后的氮气对吸附饱和后的分子筛进行再生。