Mg和V2O5共溅射制备＋4价钒的氧化物薄膜

付学成，乌李瑛，权雪玲，瞿敏妮，王 英

〈材料与器件〉

Mg和V2O5共溅射制备＋4价钒的氧化物薄膜

付学成，乌李瑛，权雪玲，瞿敏妮，王 英

（上海交通大学 先进电子材料与器件校级平台，上海 200240）

在常温、高真空条件下，采用高纯金属镁靶和V2O5靶进行共溅射，利用镁原子的还原性，将＋5价的钒还原为＋4价，在硅衬底上制备钒的氧化物薄膜。当Mg和V的原子比为1:2时，XPS测试表明薄膜中有V4＋和V2＋存在。X射线衍射结果显示，制备的薄膜主要成分是MgV2O5，且结晶状况良好。温度-电阻率测试结果显示，薄膜在20℃附近有相变行为，电阻温度系数高达－8.6%/K，回线弛豫温度约为0.3℃，负温度系数热敏电阻材料常数高达6700。这一发现为制备非制冷焦平面探测用的热敏薄膜材料提供了新的思路。

共溅射；MgV2O5；电阻温度系数；热敏薄膜

0 引言

红外探测器一般分为两种：一种是在低温致冷系统协助下才能够正常工作的，它成本高、功耗大、寿命短；另一种是非制冷热红外探测器，它在成本、功耗、寿命、谱宽波段等方面更具有优势[1-2]。非制冷红外成像使用的核心部件是微测辐射热计，微测辐射热计的性能是由热敏材料的电阻温度系数等因素决定的。制备在室温附近具有高电阻温度系数即TCR（temperature coefficient of resistance），低方块电阻，并且没有相变弛豫的热敏薄膜是非制冷红外成像技术关键所在。目前有关这类热敏薄膜材料的研究报道有很多，VO2薄膜就是最常见的一种。

VO2薄膜是一种具有相变特性的功能薄膜，未掺杂的VO2薄膜在64℃具有从低温单斜相向高温四方相发生相变的行为[3]。这种奇特的相变行为很快引起了国内外众多科研人员的关注。从20世纪80年代开始到现在，有关VO2薄膜制备的报道有很多[4-11]，其主要思路是将V2O5还原降价得到VO2。Wu J.[12]等人采用有机溶胶-凝胶法，将原料为摩尔比1:80:8的V2O5、C4H10O和C7H8O的混合溶液配制成溶胶，在云母片上旋涂后，再经过540℃的高温退火，制备出二氧化钒薄膜。易静[13]等利用水热法，将研磨好的V2O5和无水亚硫酸钠粉末，混合后放入烧杯内，加入蒸馏水、调节pH值和升温速率进行反应。24h后，再将充分反应后的样品溶解于氢氧化钠溶液，进行过滤、洗涤烘干，最终制备出纯度为85.4%二氧化钒薄膜。唐振方[14]等利用射频磁控溅射设备对V2O5陶瓷烧结靶材进行溅射沉积镀膜，再经氩气气氛退火处理得到纯度94%的VO2薄膜。李金华[15]等采用离子束增强沉积的方法，将纯度为99.7%的V2O5粉末压成溅射靶。在使用氩离子束溅射沉积薄膜的同时，用氩氢混合束对沉积膜作高剂量离子注入，使沉积膜中V2O5的V-O键断裂，利用氢的还原性将＋5价的钒还原为＋4价，退火后获得室温热电阻温度系数约4%的VO2薄膜。由于未掺杂的VO2薄膜的相变温度高于室温，且存在相变驰豫，不能直接用作室温热敏薄膜。通过掺杂其他元素改变VO2的相变温度和相变驰豫温度的报道也有很多[16-17]。付学成[18]等将Ta2O5与V2O5粉末均匀混合压制成溅射靶，用离子束增强沉积的方法，在二氧化硅衬底上制备出掺Ta原子比为3%的二氧化钒薄膜，测得相变温度约48℃，相变驰豫温度约为1.5℃。谭源[19]等利用氮氧混合气体对钨钒金属靶进行共溅射的方法制备金属氧化物薄膜，并在常压下进行退火处理，结果表明掺钨原子比为1.4%的VO2薄膜的相变温度下降到31℃，相变驰豫温度约为2.5℃。关于能否利用具有还原性金属单质和V2O5进行共溅射，将V2O5还原制备出VO2的同时，实现掺杂改变相变温度和相变驰豫温度，国内外相关文献鲜有报道。

我们尝试在真空度高于1×10－4Pa的条件下，通入高纯氩气，用共溅射的方法，对高纯金属镁靶和V2O5陶瓷靶进行溅射。利用Mg的还原性将＋5价的钒降低为＋4价制备VO2薄膜。通过调节加在两个靶材的功率，来调节薄膜中Mg和V的原子比。研究发现，当Mg和V的原子比为7:93时，XRD（X-ray diffraction）测试结果显示制备的薄膜晶粒主要成分是VO2，XPS（X-ray photoelectron spectroscopy）测试结果表明薄膜中的V以＋4，＋5价混合存在。当Mg和V的原子比为1:2时，XRD测试结果显示制备的薄膜晶粒主要成分变成了MgV2O5，同时XPS测试结果表明薄膜中的V仅以＋4价存在。扫描电子显微镜照片显示，MgV2O5薄膜结晶状况良好。用霍尔效应仪测试MgV2O5薄膜电阻随温度的变化，结果显示：在20℃附近也有相变行为，电阻温度系数高达－8.6%/K，回线弛豫温度仅有0.3℃。我们分析了MgV2O5薄膜的特殊结构，并用相关的相变理论解释了薄膜在室温附近具有高TCR，较小的弛豫温度的原因。

1 实验部分

1.1 实验设备

实验采用美国丹顿真空explore-14多靶磁控溅射沉积系统制备薄膜，如图1所示。

图1 丹顿explore-14磁控溅射沉积系统示意图

五氧化钒靶安装在射频靶枪，高纯镁靶在直流靶枪。靶材中心距离基片台中心距离约15cm，靶与基片台倾斜夹角约45°。溅射气源采用纯度为99.999%氩气，设备的极限真空为2×10－5Pa。基片台为水冷控温，温度为22℃，旋转速度0～12转/min，转速可调。

1.2 测试设备与耗材

衬底选用清洗干净的3in P型（100）单面抛光的单晶硅片，薄膜厚度测试选用KLA-TencorP7台阶仪，电阻温度系数测试选用MMR霍尔效应仪，薄膜成分检测选用德国Bruker公司ADVANCE Da Vinci多功能X射线衍射仪，元素化合价测试选用日本岛津-Kratos公司AXIS UltraDLDX射线光电子能谱仪，图像分析采用德国Zeiss Ultra Plus场发射扫描电子显微镜。

1.3 薄膜的制备

在本底真空度优于1×10－4Pa的条件下，通入高纯氩气，设定工作气压为0.6Pa，基片台转速设定为6转/min。预溅射功率为200W，先将靶材分别预溅射5min。再设定五氧化钒靶和高纯镁靶上的功率比值分别为300W:20W，300W:30W，300W:40W，沉积时间为30min，在3in硅衬底上分3次制备薄膜。

2 薄膜的测试

2.1 薄膜厚度和元素比例的测试

在共溅射的过程中保持五氧化钒靶的功率为300W，将高纯镁靶上的功率由20W增加到30W、40W。3次制备的薄膜厚度也有区别，台阶仪测试的结果表明：随着高纯镁靶上的功率由20W，增加到30W、40W，沉积的薄膜厚度由355nm增加到425nm、578nm。用EDS检测不同工艺条件制备薄膜中Mg和V的原子比，结果表明：镁靶上的功率为20W时，沉积的薄膜中Mg和V的原子比为7:93，镁靶上的功率为30W时，沉积的薄膜中Mg和V的原子比为17:83。当镁靶上的功率增加到40W时，沉积的薄膜中Mg和V的原子比迅速增加到为1:2。

2.2 薄膜成分的测试

利用XRD检测不同工艺条件制备薄膜的物相，测试角度范围为15～75°，步幅大小为0.02°，测试结果如图2显示，其中2为衍射角。Mg靶的溅射功率为20W时，共溅射制备的薄膜3条谱峰分别对应于VO2（PDF#73-0514）的（211）、（151）、（024）晶向，没有发现V2O5和MgO晶粒的存在。同时利用XPS检测所制备薄膜中V和Mg化合价情况。测试结果采用高斯曲线进行拟合显示，薄膜中的V元素以＋4和＋5价共同存在，如图3。Mg2p峰的窄程扫描图谱中显示：Mg2＋结合能为50.75eV。

Mg靶的功率增加到30W和V2O5共溅射制备的薄膜，XRD测试结果如图2显示。共溅射沉积的薄膜晶粒主要成分仍然是（211）和（151）晶向的VO2。根据标准卡片PDF#89-4728分析，（116）晶向的MgV2O5晶粒开始出现。当Mg靶的溅射功率增加到40W时，在共溅射制备的薄膜中，VO2消失，（116）晶向的MgV2O5和（111）、（200）、（220）晶向的MgO（PDF#89-7746）为主要成分，结晶状况如图4(a),图4(b)。

V2p、Mg1S的窄程扫描图谱结果显示，如图5(a),图5(b)。V4＋的结合能为516.24eV，半高宽约3.08eV，Mg2＋的结合能为50.75eV，Mg1S的结合能为1303.74eV半高宽约1.92eV。XPS测试结果显示V、Mg两种元素在薄膜中的原子比例约为2:1。

图2 共溅射制备的钒的氧化物XRD图谱

图3 钒的氧化物薄膜中V2p的窄程扫描图谱

图4 MgV2O5薄膜的SEM图像

图5 共溅射制备的薄膜中V2p、Mg1S的窄程扫描图谱

2.3 MgV2O5和V2O5薄膜的电学性能测试

为对比研究镁还原V2O5靶材制备的MgV2O5薄膜和V2O5薄膜电学性能不同。用银浆做好电极后，对利用共溅射法制备的MgV2O5薄膜和未被还原的V2O5薄膜进行电学性能对比测试，如图6。

图6 MgV2O5和V2O5薄膜的电阻温度曲线

3 结果分析和讨论

3.1 薄膜厚度和元素比例的测试结果分析

随着高纯镁靶上的功率由20W，增加到30W、40W，沉积的薄膜厚度由355nm增加到425nm、578nm。用EDS检测不同工艺条件制备薄膜中Mg和V的原子比，结果显示：当镁靶上的功率为20W时，沉积的薄膜中Mg和V的原子比为7:93，当镁靶上的功率增加到40W时，沉积的薄膜中Mg和V的原子比迅速增加到为1:2。这可能是由于在溅射金属镁时采用的功率过低，加在阴极上的电压也很低，只有小部分氩离子的能量大于镁的溅射阈值，造成镁的溅射产额比较低。当功率略有增加时，阴极上的电压升高，大部分氩离子的能量大于镁的溅射阈值，镁的溅射产额快速增加，引起薄膜的组分发生了变化，导致薄膜厚度也大幅度增加。

3.2 薄膜成分的测试结果分析

当Mg靶的溅射功率为20W时，共溅射制备的薄膜中Mg2＋结合能为50.75eV。＋2价的镁离子存在证明了镁原子可以将＋5价的钒还原为＋4价。V2p峰的窄程扫描图谱中V4＋的结合能为516.26eV，半高宽约0.81eV；V5＋的结合能为517.62eV，半高宽约1.75eV。通过高斯曲线对拟合过的V4＋、V5＋峰面积进行计算，可知在薄膜中V4＋所占的比例约为14%，这和7%的Mg原子理论上可以将14%的V5＋还原成V4＋的结果非常吻合。

虽然XPS检测结果显示制备薄膜中有＋5价V的存在，但XRD测试的结果中没有发现V2O5的存在。这可能是因为沉积的薄膜没有经过退火处理，V2O5以非晶状态存在造成的。根据Scherrer公式＝/(cos)，可以计算出VO2晶粒尺寸约5nm。由于VO2晶粒比较小，且在薄膜中占有的比例低，SEM图像中很难发现它的存在。

当Mg靶的溅射功率增加到40W时，XPS测试结果显示：V、Mg两种元素在薄膜中的原子比例为1:2。这与XRD测试得出的薄膜的主要成分是MgV2O5这一结果非常吻合。

3.3 MgV2O5和V2O5薄膜的电学性能测试结果分析与讨论

目前有关MgV2O5材料性质报道的论文极少，对于薄膜在室温附近具有相变行为且弛豫温度仅为0.3℃这一现象，可能是因为MgV2O5属于钒酸盐梯状化合物，其结构特点是典型的梯形结构，一个梯内的相互作用要比相邻梯间的相互作用大很多[21]。当薄膜温度从310～290K进行变换时，沿轴方向形成长和短的两种V-V键，从而使参数有双重值，这种变化会在V3d导带费米能级上产生一个极小的能隙[22]，这类相变属于一级相变，是造成MgV2O5薄膜在285～310K的附近温度电阻曲线不重合的主要原因。

据文献[23]报道MgV2O5常温下是一种磁性材料。当薄膜吸收或释放热量发生相变时，不但吉布斯自由能和化学势能都相等，即1＝2，1＝2，化学势的一级偏微商也相等，只是化学势二级偏微商不相等。MgV2O5在室温附近发生一级相变的同时，可能伴随着二级相变，这类相变会影响材料的磁性，对材料的体积，焓无影响。由于二级相变的存在，弛豫温度要比未掺杂VO2薄膜的弛豫温度小很多。

另外，由负温度电阻系数热敏电阻器公式：

式中：25为材料25℃的电阻值；R为温度时的实际电阻值；n为负电阻温度系数热敏电阻器材料物理特性的一个常数。由公式可以计算出，在温度为20℃时，材料常数n约为6700。这从另外一个方面说明了该材料在室温附近的绝对灵敏度非常高。

4 结论

采用高纯金属镁靶和五氧化钒靶进行共溅射，利用镁原子的还原性，可以将＋5价的钒降低为＋4价，制备＋4价钒的氧化物薄膜。当Mg和V的原子比为1:2时，共溅射制备的薄膜主要成分是MgV2O5。电学性能测试结果显示，MgV2O5薄膜在20℃附近有相变行为，电阻温度系数高达－8.6%/K，回线弛豫温度仅为0.3℃。这可能是由于MgV2O5特殊的梯形结构和磁性特性，在20℃发生二级相变的同时，伴随微弱的一级相变造成的。这为制备在室温条件下，高TCR、低相变弛豫温度的红外薄膜材料提供帮助。

致谢：感谢上海交通大学先进电子材料与器件平台程秀兰主任对实验工艺开发的大力支持！

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Preparation of +4-Valent Vanadium Oxide Films via the Co-Sputtering of Mg and V2O5

FU Xuecheng，WU Liying，QUAN Xueling，QU Minni，WANG Ying

(Advanced Electronics Materials and Devices, Shanghai Jiao Tong University, Shanghai 200240,China)

Vanadium oxide films were deposited on a silicon substrate via co-sputtering a high-purity magnesium and vanadium pentoxide target under high vacuum at room temperature. Owing to the reducibility of the magnesium atom, the valency of vanadium was reduced from +5 to +4. When the atomic ratio of Mg to V was 1:2, X-ray diffraction (XRD) results showed that the main component in the film was MgV2O5. X-ray photoelectron spectroscopy (XPS) results showed that both V4+and V2+were present in the fabricated films. The crystallization of the MgV2O5film was in adequate condition, as observed in the SEM profiles. The results of the temperature resistivity test showed that the film experienced a phase transition near room temperature. The hysteresis loop occurred at a temperature of approximately 0.3℃ with a temperature coefficient of resistance of −8.6%/K. The material constant of the negative temperature coefficient thermistor was approximately 6700. This discovery provides a novel method for the preparation of thermal film materials for application in uncooled focal plane detectors.

co-sputtering, MgV2O5, TCR, thermal sensitive film

TB43

A

1001-8891(2022)01-0079-06

2020-05-06；

2020-12-04.

付学成（1978-），男，河南人，实验师，研究方向为薄膜沉积和薄膜工艺开发。E-mail: xuecheng.f@sjt.edu.cn。

王英（1970-），女，辽宁人，博士，副教授，研究方向为微纳加工与测试。E-mail: wangying@sjt.edu.cn。