电容式MEMS加速度计电子辐照效应研究_参考网

电容式MEMS加速度计电子辐照效应研究

2021-11-19刘超铭,蒋礼达,刘国文等

黑龙江大学自然科学学报 2021年4期

关键词：电容式加速度计效应

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