常温下硅微谐振加速度计零偏稳定性的提高_参考网

常温下硅微谐振加速度计零偏稳定性的提高

2016-11-07严斌,尹永刚,董景新

光学精密工程 2016年5期

关键词：加速度计谐振稳定性

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