一种HF电子气体的反应性超声精馏提纯方法

申请(专利)号：202010073972.9

公开(公告)日：2020-10-23

申请(专权)人：浙江凯圣氟化学有限公司

浙江博瑞电子科技有限公司

摘要:本发明是关于一种HF电子气体的反应性超声精馏提纯方法，本发明在含微量水的液化HF中分别加入少量碳酰氟、氯化亚砜，通过精馏去除、碳酰氟或氯化亚砜与水分反应生成的CO2或SO2，达到HF脱水提纯的目的；另外，将液化HF置于超声场中进行精馏提纯，能够为促进碳酰氟、氯化亚砜与液化HF中微量水分的反应，加速CO2或SO2从液化HF中的逸出，有效降低CO2或SO2在液化HF中的残留；本发明属于水分反应性转化与超声除气耦合方法，具有纯度高，水分含量极低的优点。