一种砷烷的合成提纯方法

申请(专利)号：202011385329.6

公开(公告)日：2020-10-23

申请(专权)人：深圳市博纯半导体材料有限公司 博纯材料股份有限公司

摘要:本发明涉及一种砷烷的合成提纯方法，包括：步骤一：将锌粉和砷粉放入石英器皿内混合均匀再置于不锈钢反应罐内抽真空并充入高纯惰性气体，加压加热得到砷化锌粉末；步骤二，砷化锌粉末至于反应器中，加入稀硫酸反应生成粗制砷烷气体；步骤三，将粗制砷烷气体通入吸附装置得到砷烷气体；步骤四，使用液氮冷阱捕集砷烷气体，使砷烷气体冷凝为液态砷烷，使用真空泵抽去不凝气体并取下冷肼外的液氮罐，使砷烷挥发，得到纯净的砷烷气体；步骤五：将纯净的砷烷气体通入预先处理过的洁净钢瓶中进行保存，得到成品。能够有效减少砷烷气体内的杂质，提高本发明所述砷烷的纯度，同时，将吸附剂的加入和分子筛的选择放在一个装置内进行能够提高反应效率。