低沸点电子气体密闭取样系统

及取样方法

申请(专利)号：202011121741.7

公开(公告)日：2020-12-11

申请(专权)人：唐山三孚电子材料有限公司

摘要:本发明公开了一种低沸点电子气体密闭取样系统及取样方法，涉及低沸点气体取样技术领域。低沸点电子气体密闭取样系统，包括取样瓶、吹扫置换系统和冷却系统；冷却系统包括冷却筒，冷却筒筒壁设有与外部管线连通的夹层，夹层中装有冷媒，外部管线上装有循环泵，冷却筒中装有取样瓶；取样瓶两侧分别设有进气管和出气管，进气管和出气管分别通过三通阀门与吹扫置换系统连接，吹扫置换系统包括高纯气体吹扫系统、样品气引入系统、吹扫气检测系统、废气排出系统和真空系统。本发明提出的取样系统及取样方法实现不同种类低沸点电子气体的密闭取样，有效防止空气对产品造成污染。取样系统采用冷却筒对低沸点电子气体进行冷却液化富集，增大取样量。