固态Mo源的固体纯化冷却接收及计重装置

专利申请号: CN201820695617

公开号: CN208320042U

申请日:2018.05.10公开日:2019.01.04

申请人: 江苏南大光电材料股份有限公司

本实用新型涉及固态Mo源的固体纯化冷却接收及计重装置，在手套箱台面板上安装手套箱，手套箱的夹套通过管路与冷冻机循环连接，接收罐置于手套箱中，接收罐通过波纹管连接出料管，手套箱的上方设有顶面厢板，顶面厢板悬挂一计重模块，计重模块与接收罐吊接，使接收罐悬浮于手套箱中，计重模块与PLC数据采集分析记录单元通讯连接。不仅实现固态Mo源的纯化冷却接收，还实现接收重量的计量，采用凝华接收，可以控制接收固体颗粒均匀状，满足MoCVD外延生长对于固体Mo源的要求；可直接分装，防止操作过程中可能存在的二次污染，较好解决Mo源的纯度和颗粒度问题；采用计重模块，解决接收量的计量问题。