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多晶硒化锌的制备方法

2021-04-04

低温与特气 2021年5期
关键词:多晶坩埚氩气

申请(专利)号:CN202011566453.2

公开(公告)日:2021-05-14

申请(专权)人:广东先导先进材料股份有限公司

摘要:本公开提供了一种多晶硒化锌的制备方法,其包括步骤:将厚度为30mm~50mm的多晶硒化锌片的表面进行处理,得到粗糙度小于Ra20的硒化锌抛光片,将硒化锌抛光片等离子清洗后置于石墨衬底上;步骤二,将锌料安装在坩埚内;步骤三,将石墨衬底沉积器安装在石墨坩埚上,再置于化学气相沉积真空炉内;步骤四,在室温下,化学气相沉积真空炉通氩气;步骤五,坩埚升温,石墨衬底沉积器升温;步骤六,锌开始蒸发,向石墨衬底沉积器内通入氩气携带的硒化氢气体,向坩埚内通入氩气;步骤七,锌蒸发完毕,停止通入硒化氢气体,坩埚降温,石墨衬底沉积器降温,出炉得到最终整体厚度为60mm~100mm的多晶硒化锌。本公开可以制备得到厚尺寸多晶硒化锌材料。

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