“定制”微器件为新材料应用探路

微电子器件(简称“微器件”)“潜伏”在人们日常生活中，比如一部普通手机的CPU(中央处理器)里有多达百亿个晶体管(微器件的一种)。中科院上海技术物理研究所研究员王建禄等人，通过新型制备方法，能按需定制微器件，有望加速未来的新型半导体材料的应用。相关成果于近期在线发表于国际期刊《自然·电子学》上。

传统的半导体微器件工艺过程十分繁琐复杂。例如，要通过几百道甚至上千道的工艺，才能获得常用的计算机芯片，研究团队探索的是：如何以简单的工艺，按需定制微器件。

可以这么描述他们的制备方法：用“纳米画笔”在“画布”上画出微器件。这里的“纳米画笔”指的是纳米尺度的针尖。“画布”则是一种特殊的纳米薄膜——铁电薄膜。

王建禄指出，这种制备方法适用于几乎所有的半导体薄膜材料，但由于传统材料的制备工艺已相对成熟，新方法更适用于未来新型低维半导体材料的应用上。