化学气相沉积法从MTS-H2-N2前驱体制备碳化硅涂层_参考网

化学气相沉积法从MTS-H2-N2前驱体制备碳化硅涂层

2020-10-27贾林涛,王梦千,朱界等

陶瓷学报 2020年2期

关键词：碳化硅前驱气相

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