山西电子信息产业发展再提速

科学导报讯 记者邬婷 3月1日，记者从中国电子科技集团公司第二研究所（以下简称中国电科二所）获悉，中国电科（山西）碳化硅材料产业基地实现顺利投产。此次产业园的顺利投产不仅是山西省新型半导体产业集群化发展的标志性事件，对国内宽禁带半导体材料产业发展也具有重要意义，为国防事业和电子信息产业提供坚强保障。

据了解，中国电科二所作为山西省半导体产业联盟副理事长单位，围绕“安全”和“智慧”两大事业，聚焦电子装备智能制造、三代半导体、光伏新能源、网络信息安全和综合治理安全等领域，加大研发和产业化投入，通过技术创新驱动与应用示范项目推广，助力山西经济转型。中国电科（山西）电子信息科技创新产业园既是贯彻山西省委、省政府“四为四高两同步”总体部署要求的重大举措，也是中国电科围绕半导体材料、装备制造产业领域在晋的战略布局。

中国电科二所着手布局碳化硅单晶衬底材料的研制规划，依靠自身在电子专用设备研发领域的技术优势，潜心钻研着碳化硅单晶生长炉的研制。山西烁科晶体有限公司作为其旗下公司，是全球四家具备制备高纯半绝缘碳化硅晶片技术厂家之一，不但掌握了碳化硅材料的制备技术，同時从生产设备到原材料均实现自主可控。目前，中国电科二所全面掌握了高纯碳化硅粉料制备工艺、4英寸高纯半绝缘碳化硅单晶衬底的制备工艺，形成从碳化硅粉料制备、晶体生长、晶片加工、外延验证等整套碳化硅材料研制线。