米级单壁碳纳米管薄膜的连续制备及全碳电路研制获进展
2018-08-02
军民两用技术与产品 2018年13期
中国科学院金属研究所先进炭材料研究部孙东明团队与刘畅团队合作,提出了一种连续合成、沉积和转移单壁碳纳米管薄膜的技术,实现了米级尺寸高质量单壁碳纳米管薄膜的连续制备,并基于此构建出高性能的全碳薄膜晶体管(TFT)和集成电路(IC)器件。研究人员采用浮动催化剂化学气相沉积方法,在反应炉的高温区域连续生长单壁碳纳米管,然后通过气相过滤和转移系统在室温下收集所制备的碳纳米管,并通过“卷到卷”转移方式转移至柔性PET基底上,从而获得了长度超过2 m的单壁碳纳米管薄膜。