一种配气系统

申请(专利)号：201720093028.3

公开(公告)日：2017-09-05

申请(专利权)人：江西省华东特种气体有限公司 江西华特电子化学品有限公司

摘要：一种配气系统，包括第一原料瓶、第二原料瓶、控制柜、电子秤、成品气瓶、加压气瓶、真空泵、真空表、第一原料表和第二原料表；第一原料瓶、第二原料瓶和成品气瓶之间通过管道连接，第二原料瓶和加压气瓶之间通过管道连接，第一原料瓶的输出端与成品气瓶的输入端连接；第二原料瓶的输出端与成品气瓶的输入端连接；第一原料瓶的输出端设有第一控制阀和第一排放阀；本实用新型通过所述电子秤对有比例要求的成品气体进行精确配置，通过所述真空泵能够处理所述管道及成品气瓶的杂质，装置管道采用抗吸附、抗腐蚀的不锈钢材料，保证了装置内部的洁净度，整个过程下来，使得最终配出的混合气体的准确度高、产品质量稳定。