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空气产品公司将为中芯国际天津项目供应气体

2017-04-14

低温与特气 2017年4期
关键词:氦气氩气集成电路

空气产品公司将为中芯国际天津项目供应气体

空气产品公司(Air Products)6月26日宣布,公司将为集成电路晶圆代工企业中芯国际集成电路制造有限公司的天津产能扩充暨新一代芯片制造项目提供工业气体。

空气产品公司将建造一座现场制氮工厂并利用现有的空分装置和液态气体供应能力为中芯国际的扩产新建项目提供高纯氮气、氧气、氩气、二氧化碳、氢气、氦气和压缩干燥空气。

中芯国际天津公司位于国家级西青经济技术开发区。空气产品公司自2004年起就为中芯天津现有的8 inch集成电路生产线供应高纯氮气、氧气、氩气和氦气。待扩建项目全部达产后,中芯天津月产能将达15万片8 inch晶圆,有望成为世界上单体规模最大的8 inch集成电路生产线。

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