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双面带有隔片的密封用片、以及半导体装置的制造方法

2016-05-30

科技创新导报 2016年16期
关键词:大阪府双面密封

申请公布号:CN105745750A

申请公布日:2016.07.06

申请人:日东电工株式会社

地址:日本大阪府

发明人:志贺豪士;石坂刚;盛田浩介;饭野智绘

Int.Cl.:H01L23/29(2006.01)I;C09J7/02(2006.01)I;H01L21/60(2006.01)I;H01L23/28(2006.01)I;

优先权:2013-241276 2013.11.21 JP

PCT进入国家阶段日:2016.05.19

PCT申请数据:PCT/JP2014/079078 2014.10.31

PCT公布数据:WO2015/076088 JA 2015.05.28

摘 要:该发明提供一种双面带有隔片的密封用片,其具备密封用片、层叠于密封用片的一个面的厚50 μm以上的隔片A、和层叠于密封用片的另一个面的隔片B。

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