日本企业推出直径仅1cm的六轴力觉传感器

2016-03-26日经

军民两用技术与产品 2016年1期

日本信号株式会社推出了基于微机电系统（MEMS）技术的超小型六轴力觉传感器。其采用该公司研发的电磁驱动式MEMS光扫描仪“ECO SCAN”的技术经验，主要用于机器人和计量测量仪器领域。

该六轴力觉传感器利用半导体的压电电阻效应来检测应力。其直径为10.6mm、厚14.5mm。其沿X、Y、Z轴方向的额定载荷各为±30N，沿各轴旋转方向的额定载荷为±30Ncm，重复精度优于3%，其轴向检测灵敏度为0.1mV/ N～0.2mV/N，X、Y轴旋转方向的检测灵敏度为0.2mV/Ncm～0.6mV/ Ncm，Z轴旋转方向的检测灵敏度为0.2mV/Ncm～0.3mV/Ncm。

另外，日本信号株式会社还将广泛探索该传感器在机器人及测量仪器以外领域的应用，如实现医生触诊的自动化等。