一种集成压电式万向冲击传感器及其压电敏感元件的制造方法

申请号: 201510868073.7

【公开号】CN105352634A

【公开日】2016.02.24

【分类号】G01L1/16; G01L5/00

【申请日】2015.12.02

【申请人】中国工程物理研究院电子工程研究所

【发明人】赵宝林;刘显学;刘天国;陶逢刚

【摘 要】本发明公开了一种集成压电式万向冲击传感器及其压电敏感元件的制造方法。本发明包括质量块和压电敏感元件，压电敏感元件上设置有Z轴轴向、Y轴轴向和X轴轴向压力敏感输出电极对和质量块焊接电极；质量块通过质量块焊接电极焊接在压电敏感元件顶部；本发明采用新型的集成结构模型，将Z轴压缩式感应输出与X、Y轴剪切感应输出集成一体，通过后续的分区极化，实现了X、Y及Z轴的敏感输出，技术得到了较大的革新改进。