高品质汽车测试套件的细胞感知经验



高品质汽车测试套件的细胞感知经验

介绍一种基于CMOS（互补金属氧化物半导体）来提高高品质汽车设计中整体缺陷覆盖率的方法，给出具有216个高电压阀值细胞的细胞感知结果流，并通过对数百万个零部件进行测试，获得了130nm制造工艺（集成电路的一种高技术制造工艺）的模式生成流和大生产测试结果。细胞感知（CA）测试是检测细胞内桥、开路、耗散及高阻性晶体管缺陷，是现有测试方法无法实现的技术。

本研究针对130nm制造工艺的产品测试，对CA、停滞（stuckat, SA）和过渡延迟（transition delay, TR）3种测试方法进行比较，验证了3种方法对该工艺的有效性，并分析了3种测试方法的缺陷覆盖率。研究发现，CA测试相比SA和TR测试，缺陷覆盖率分别扩展0.63%和3.83%。研究得出，不同细胞结构的缺陷覆盖率扩展程度不同，介绍了对新增缺陷覆盖率贡献最大的3种细胞结构，新增缺陷只能通过CA测试方法检测。

研究表明，CA测试方法更适用于高品质汽车的设计。在汽车设计中，由于零百万分率策略是首要追求目标，不能做出任何质量方面的妥协，因此分析整体缺陷率十分重要。

在130nm制造工艺中，CA方法在第1次晶圆测试试验中检测出多个CA缺陷部件，在不同温度的第2次晶圆测试中，仍能检测出一些特殊CA缺陷部件。

CA测试方法是当前停滞与过渡延迟测试方法的一种扩展，有望通过提高细胞感知测试检CA测质量而取消当前的停滞与过渡延迟测试。

F.Hapke et al.19th IEEE European Test Symposium (ETS),2014.

编译：王迪